Exakt positioniert – Mit der neuen ABRX-Baureihe bietet Aerotech hochpräzise luftgelagerte Rotationsachsen für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich

Fürth, 20. Januar 2021 – Aerotech, Hersteller leistungsstarker Motion-Control- und Positioniersysteme, präsentiert mit den ABRX High-Performance Air-Bearing Stages eine neue Generation luftgelagerter Rotationtische. Um maximale Nutzlast- und Formfaktoranforderungen für den Einsatz als einachsiger Positionierer, als Teil eines integrierten Systems oder auch einer integrierten Maschine zu erfüllen, stehen verschiedene ABRX-Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm zur Verfügung. Somit eignen sie sich besonders für maximale Anforderungen in den Bereichen Wafer-Inspektion, Hochpräzisions-Messtechnik, optische Inspektion und Fertigung sowie MEMS/Nanotechnologie-Geräteherstellung.

 

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PI_Aerotech_ABRX_Air-Bearing_DE_0121