ANT95LZ Einachsige Z-Nanopositionierungstische
Unsere ANT95LZ-Tische der zweiten Generation wurden speziell für Bewegungen und Positionierleistungen im Nanometerbereich in vertikaler Ausrichtung entwickelt. Ein vom Benutzer einstellbares, extrem reibungsarmes pneumatisches Gegengewicht macht sie zum Klassenbesten in der Kombination von Auflösung, Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Größe und Zuverlässigkeit. Ihre beeindruckenden dynamischen Fähigkeiten und ihre erhöhte Tragfähigkeit machen die ANT95LZ-Tische zu einer ausgezeichneten Wahl, wenn Sie eine hervorragende vertikale Bewegung benötigen.
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Design-Merkmale
- Verbessertes Design der zweiten Generation
- Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 1 nm -NEU
- Positionierleistung im Nanometerbereich über Verfahrwege bis zu 50 mm
- Kompensiert Nutzlasten bis zu 5 kg für eine präzise Leistung in vertikaler Richtung mit einem vom Benutzer einstellbaren, extrem reibungsarmen Ausgleichsgewicht
- Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und hohe Tragfähigkeit
- Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor
Hauptanwendungen
Der ANT95LZ ist ideal für mehrachsige Anwendungen, die eine hohe Präzision und dynamische Positionierleistung erfordern, z. B:
- Montage und Inspektion in der Photonik
- Faserausrichtung und -optimierung
- Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
- Sensorprüfung und -qualifizierung
- Halbleiterverarbeitung und -inspektion
- Forschung & Laboranwendungen
Branchenführende Bewegungsleistung
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine extrem feine Systemauflösung. Der ANT95LZ ist jetzt mit einer verbesserten Hochleistungs-Encoder-Option erhältlich und kann problemlos minimale Inkrementalschritte von 1 nm erreichen. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich. Außerdem wirkt das minimal beeinflussende Gegengewicht den von Ihrer Nutzlast verursachten Gravitationskräften entgegen, was zu einer branchenführenden Leistung und optimalen thermischen Stabilität führt.
Berührungsloser Direktantrieb
Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT95LZ-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. Diese Direktantriebstechnologie sorgt für eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften zur Optimierung Ihres Prozessdurchsatzes. Die einzigartige Antriebs- und Lagerkombination, die in einem extrem kompakten Formfaktor untergebracht ist, bietet greifbare Vorteile in vielen Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensortests und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.
Flexibles Systemdesign
Die ANT95LZ-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können für flexible Systemdesigns und Mehrachsenkonfigurationen einfach kombiniert werden. Die ANT95LZ-Tische, die auch als noch flachere Variante mit zwei Gegengewichten erhältlich sind, lassen sich leicht mit anderen Produkten wie ANT95L, ANT95XY, ANT95R, ANT95V, ANT20G und anderen kombinieren, um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu realisieren.
Dimensions
ANT95LZ-025
ANT95LZ-050
Ordering Information
Travel (Required)
| Option | Description |
| -025 | 25 mm travel |
| -050 | 50 mm travel |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
| -E2 | Incremental linear encoder, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution |
| -E3 | Absolute + Incremental 1 Vpp linear dual-track encoder |
| -E4 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output, high-performance |
Cable Orientation (Required)
| Option | Description |
| -CBL1 | Right-hand cable exit |
| -CBL2 | Left-hand cable exit |
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base Performance |
| -PL2 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |