Sechs-Achsen-Piezopositionierer

• Vollständige sechs Freiheitsgrade bei der Positionierung in einem Design mit minimaler Grundfläche
• Klare Apertur ermöglicht mehr Zugang für Prozesswerkzeuge
• Direkte kapazitive Rückkopplungsmechanismen ermöglichen Positionierung im Nanometerbereich
• Entworfen für geringes Rauschen und exzellente Stabilität in der Position
• Hohe Steifigkeit für dynamische Bewegungen und Schritt- und Einschwingprofile im Millisekundenbereich
• Anwendungen sind u.a. fortschrittliche Montage und Bonding, Probenpositionierung und vieles mehr