WAFER-INSPEKTION UND -MESSTECHNIK
Verbesserung der modernsten Waferbearbeitungssysteme.
Wir bieten Lösungen für die Dünnschichtmessung, optische Waferinspektion, Elektronenstrahlinspektion, Mikroskopie und Retikel-/Maskeninspektion.
Die vielseitigsten Positionierungslösungen
Wir verfügen über mehr als 50 Jahre Erfahrung in der Entwicklung von seriell gestapelten Standard-Wafertischen, integrierten XY-Tischen mit niedrigem Profil und planaren luftgelagerten Lösungen für den Markt der Waferinspektion. Wenn ein Standardsystem nicht funktioniert, sind wir jederzeit in der Lage eine kundenspezifische Lösung für Ihre speziellen Anforderungen entwickeln.
Das Nonplusultra der Präzision
Unsere planaren luftgelagerten Lösungen in Verbindung mit Laserinterferometrie minimieren Wafer-Ebenen-Fehler und Abbe-Versatz. Fortschrittliche Lösungen aus Siliziumkarbid mit fortschrittlichen Steuerungen ermöglichen eine Positionierung auf Nanometerebene mit einem hohen Wafer-Durchsatz pro Stunde.
Reinraumfertigung
Wir arbeiten mit den höchsten Reinheitsgraden für die Waferverarbeitung der nächsten Generation. Unsere temperaturgesteuerten Reinraumanlagen der ISO-Klasse 6 mit zellenspezifischen Möglichkeiten der ISO-Klasse 5 gewährleisten eine hochwertige und zuverlässige Fertigung unserer Positionierungslösungen.
