AGV-HP(O) Hochpräzise Laser-Scan-Köpfe
Mit dem AGV-HP(O), der den höchsten Genauigkeitsgrad aller Laserscanner bietet, produzieren Sie konsistente Teile mit kleineren, präziseren Merkmalen. Die hochgradig wiederholbaren und thermisch stabilen Rückkopplungssensoren des AGV-HP(O) können über das gesamte Sichtfeld bis auf eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich kalibriert werden.
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Design-Merkmale
- Erreicht im gesamten Sichtfeld eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich
- Erhebliche Verbesserung der thermischen Stabilität durch optische Rückkopplungstechnologie
- Bietet die branchenweit beste Auflösung von >24 Bit bei Verwendung mit dem GCL-Controller von Aerotech
- Bietet eine große Auswahl an Blenden und Brennweiten
- Bietet eine große Auswahl an Spiegel-Oberflächenbehandlungen für eine Vielzahl von Laser-Wellenlängen
- Kalibrieren Sie mit Mikrometer-Genauigkeit und verlassen Sie sich auf höchste Stabilität
Durch die extrem niedrige thermische Verstärkungsdrift der Positionssensoren können komplexe Laserbearbeitungsanwendungen mit hoher Dichte, die lange Zeiträume in Anspruch nehmen, über die gesamte Lebensdauer des Prozesses eine gleichbleibende Genauigkeit der Feature-Platzierung im Mikrometerbereich gewährleisten. Ebenso wird bei Anwendungen mit hohem Durchsatz eine gleichbleibende Qualität von Teil zu Teil gewährleistet, ohne dass eine Neukalibrierung zwischen den Teilen erforderlich ist. Für ein Höchstmaß an thermischer Stabilität können die AGV-HP(O)-Scanner mit einer Wasserkühlung ausgestattet werden, um die Betriebstemperatur des Geräts bei wechselnden Lasten, Änderungen der Umgebungstemperatur oder Strahlenbeschneidung an der Eingangsöffnung zu stabilisieren.
Prozesssichtbarkeit in Echtzeit
Die Position der AGV-HP(O)-Spiegel kann in Echtzeit erfasst und analysiert werden. Durch den direkten Zugriff auf die Scannerpositionen müssen keine Verzögerungsparameter programmiert werden, um Verzögerungen und Nachlauffehler des Servosystems zu kompensieren. Der Prozess kann vor der Beschriftung des Teils optimiert werden, wodurch Sie Zeit sparen und den Materialabfall reduzieren. Sie können auch den Zustand des Lasers anhand von Positions- und Geschwindigkeitskriterien steuern, was die Komplexität der Programmierung weiter reduziert.
>Erweiterte Programmierfunktionen
Der AGV-HP(O) nutzt alle fortschrittlichen Bewegungs- und positionssynchronisierten Ausgabefunktionen (PSO), die Aerotech für traditionelle servobasierte Laserbearbeitungsanwendungen entwickelt hat. Konturfunktionen, wie z. B. die Beschleunigungsbegrenzung, können verwendet werden, um die Geschwindigkeit in engen Kurven oder kleinen Radien automatisch zu reduzieren, um das Überschwingen zu minimieren. Der Laser kann basierend auf der Positionsrückmeldung der Spiegel mit PSO getriggert werden, um eine konsistente Spotüberlappung zu gewährleisten, wenn der Scanner seine Geschwindigkeit ändert. Aerotechs IFOV-Funktion (Infinite Field of View) kombiniert nahtlos Servo- und Scannerbewegung, um die Markierfähigkeit des Scanners über den gesamten Verfahrweg der Servostufen zu erweitern und so Stitching-Fehler zu vermeiden, die bei einem herkömmlichen Move-Expose-Repeat-Prozess auftreten können.
Auswahlmöglichkeiten
Die AGV-HP(O)-Familie ist mit 10, 14, 20 und 30 mm Eingangsöffnung erhältlich und kann mit einem F-Theta oder telezentrischen Objektiv direkt von Aerotech ausgestattet werden. Anwender können die Fokussieroptik auch direkt von einem vertrauenswürdigen Lieferanten beziehen, wobei Aerotech einen Abstandsring liefert, um sicherzustellen, dass Rückreflexionen durch die Optik die Scannerspiegel nicht beschädigen. Es werden Spiegelbeschichtungen für eine breite Palette von UV-, sichtbaren, IR- und CO2-Wellenlängen unterstützt. Beschichtungen, die für ultraschnelle Laser optimiert sind, sind ebenfalls verfügbar.
>Dimensions
AGV10HPO-BE1
AGV10HPO-BE2
AGV14HPO-BE1
AGV14HPO-BE2
AGV20HPO-BE1
AGV20HPO-BE2
AGV30HPO-BE1
Ordering Information
AGV-HPO Series High-Accuracy Laser Scan Head
| Option | Description |
| AGV10HPO | 2-axis galvanometer scanner with 10 mm diameter beam aperture and integral high-precision feedback |
| AGV14HPO | 2-axis galvanometer scanner with 14 mm diameter beam aperture and integral high-precision feedback |
| AGV20HPO | 2-axis galvanometer scanner with 20 mm diameter beam aperture and integral high-precision feedback |
| AGV30HPO | 2-axis galvanometer scanner with 30 mm diameter beam aperture and integral high-precision feedback |
Beam Entry (Required)
| Option | Description |
| -BE1 | Right-side laser beam entry (standard) |
| -BE2 | Left-side laser beam entry |
Wavelength of Mirror Coating (Required)
| Option | Description |
| -W001 | 10.6 µm |
| -W002 | Durable-Silver (450 nm - 10.6 µm) |
| -W003 | 1552 nm |
| -W004 | 1064 nm |
| -W005 | 1030 nm |
| -W006 | 532 nm |
| -W007 | 515 nm |
| -W008 | 355 nm |
| -W009 | 343 nm |
| -W012 | 9.3 µm |
| -W011S* | 1030/515/343 nm Tri-band |
- Custom coatings available. Contact factory for details.
- * Dynamic performance specifications do not apply to this option. Contact the factory for more information.
F-Theta Lenses Available (Optional)(1, 2)
| Option | Description |
| -Lxx | See Table 1: F-Theta Lenses Available |
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP | Mounting plate |
- -MP option is only available with closed scanner housing (AGVxxHP) models.
Air Cooling (Optional)
| Option | Description |
| -AC | Air cooling |
Water Cooling (Optional)
| Option | Description |
| -WC | Water cooling |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Lens Mounting Adapters (to be ordered as separate line item)
| Option | Description |
| LM10HP-XXX | Lens mount adapter for AGV10HP(O); standard versions support the lens configurations offered by Aerotech; custom versions available on request |
| LM14HP-XXX | Lens mount adapter for AGV14HP(O); standard versions support the lens configurations offered by Aerotech; custom versions available on request |
| LM20HP-XXX | Lens mount adapter for AGV20HP(O); standard versions support the lens configurations offered by Aerotech; custom versions available on request |
| LM30HP-XXX | Lens mount adapter for AGV30HP(O); standard versions support the lens configurations offered by Aerotech; custom versions available on request |
Table 1: F-Theta Lenses Available (Optional)(1, 2)
| AGV10HPO | AGV14HPO | AGV20HPO | AGV30HPO | |
| -L1 | 1552-100-T 55 mm sq. FOV |
- | 10600-100-T 35 mm sq. FOV |
35 mm sq. FOV 10600-255 100 mm sq. FOV |
| -L2 | 1552-163-T 90 mm sq. FOV |
- | 10600-160 75 mm sq. FOV |
1064-200 65 mm sq. FOV_4 |
| -L3 | 1064-100 65 mm sq. FOV(4) |
1552-100-T 45 mm sq. FOV |
10600-255 160 mm sq. FOV |
1064-255 150 mm sq. FOV(4) |
| -L4 | 1064-255 150 mm sq. FOV(4) |
1552-163-T 90 mm sq. FOV |
1064-100-T 40 mm sq. FOV |
1064-500 230 mm sq. FOV(4) |
| -L5 | 1064-160 105 mm sq. FOV(4) |
1064-100 35 mm sq. FOV(4) |
1064-163 70 mm sq. FOV(4) |
- |
| -L6 | 1064-163-T 90 mm sq. FOV |
1064-100-T 60 mm sq. FOV(4) |
1064-163-T 70 mm sq. FOV |
- |
| -L7 | 1030-100-T 40 mm sq. FOV |
1064-160 80 mm sq. FOV(4) |
1064-255 150 mm sq. FOV(4) |
- |
| -L8 | 1030-163-T 90 mm sq. FOV |
1064-163-T 85 mm sq. FOV |
532-255 145 mm sq. FOV(4) |
- |
| -L9 | 532-100 55 mm sq. FOV(4) |
1064-170 110 mm sq. FOV(4) |
- | - |
| -L10 | 532-100-T 60 mm sq. FOV(4) |
1030-100-T 30 mm sq. FOV |
- | - |
| -L11 | 532-160 105 mm sq. FOV(4) |
1030-163-T 90 mm sq. FOV |
- | - |
| -L12 | 532-163-T 75 mm sq. FOV |
532-100-T 60 mm sq. FOV(4) |
- | - |
| -L13 | 515-100-T 30 mm sq. FOV |
532-160 105 mm sq. FOV(4) |
- | - |
| -L14 | 515-163-T 40 mm sq. FOV |
532-163-T 75 mm sq. FOV |
- | - |
| -L15 | 355-53-T 15 mm sq. FOV |
532-170 100 mm sq. FOV(4) |
- | - |
| -L16 | 355-100-T 50 mm sq. FOV |
515-100-T 30 mm sq. FOV |
- | - |
| -L17 | 355-160 90 mm sq. FOV |
515-163-T 40 mm sq. FOV |
- | - |
| -L18 | 355-163-T 80 mm sq. FOV |
355-53-T 5 mm sq. FOV |
- | - |
| -L19 | 355-255 140 mm sq. FOV |
355-163-T 80 mm sq. FOV |
- | - |
| -L20 | - | 355-255 140 mm sq. FOV |
- | - |
| -L21 | - | 343-53-T 5 mm sq. FOV |
- | - |
| -L22 | - | 343-163-T 70 mm sq. FOV |
- | - |
| -L23 | - | 343-255 115 mm sq. FOV |
- | - |
- Lenses specified as XXX-YYY(-T), where “XXX” represents the wavelength in nanometers, “YYY” represents the focal length in millimeters, and the presence of “-T” indicates a telecentric design.
- Input beam diameter is assumed to be equal to scan head entrance aperture at 1/e^2 Gaussian profile.
- Reported field-of-view (FOV) sizes are approximate and may be subject to minor variation as a function of the application’s laser and optical paramterers. Contact factory for details.
- Certain F-theta lenses are not recommended for use with short-pulse lasers (picosecond and femtosecond pulse durations). Contact factory for alternate lens options that are compatible with short-pulse lasers.
- Custom lenses available. Contact factory for details.