Luft/Mechanisch gelagertes planares XY-Bewegungssystem

Description

Gestaltungsmerkmale

• Luftgelagerte Scanachse; mechanisch gelagerte Schrittachse
• Doppelte Schrittachse mit Linearmotor-Antrieb
• Verfahrweg bis 1,2 Meter mal 1,2 Meter
• Linear-Encoder oder Laser-Interferometer-Rückführung

Das luft-/mechanisch gelagerte, planare XY-Bewegungssystem ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen, die eine sorgfältige Abwägung von Preis und Leistung erfordern. Dieser Tisch wurde für anspruchsvolle Anwendungen entwickelt, die eine hervorragende Schritt- und Scanleistung erfordern. Zu den Anwendungen gehören Wafer-Inspektion, Display-Fertigung und optische Inspektion und Fertigung.

Hybridgelagertes Design

Die Scan-Achse wurde unter Verwendung der bewährten Luftlagertechnologie konzipiert, die für das Luftlager ABL9000 planar entwickelt wurde. Diese Achse nutzt eine aktive Vorspannung sowohl auf den vertikalen als auch auf den horizontalen Flächen, um eine hervorragende Steifigkeit und Dynamik zu erreichen. Die Konstruktion nutzt auch die Kosteneffizienz einer mechanisch gelagerten Schrittachse. Die Kombination dieser beiden Lagertechnologien in einem Tisch bietet ein System, das für den Schritt- und Scanbetrieb optimiert ist.

Linearer Motorantrieb

Die treibende Kraft hinter diesem Versteller ist der bürstenlose Linear-Servomotor der BLM-Serie von Aerotech. Die lange Geschichte und Erfahrung von Aerotech als Motorhersteller spiegelt sich in diesem neuesten Design wider. Der BLM verwendet einen eisenlosen Forcer, was bedeutet, dass es kein Cogging und keine Anziehungskräfte gibt, was zu einer unübertroffenen Gleichmäßigkeit der Bewegung führt. Der BLM ist in der Lage, hohe Kraft und Geschwindigkeit zu erzeugen und stellt die ultimative Kombination aus Kraft und Leistung dar.

Hohe Leistung

Optional ist eine 2D-Werkskalibrierung erhältlich, um die Standardgenauigkeit, die Geradheit und die Gier-Spezifikationen auf noch feinere Präzision zu erhöhen.

Kabelmanagement

Wir haben den Biegeradius der Kabel sorgfältig optimiert, um einen jahrelangen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Im unwahrscheinlichen Fall eines Ausfalls ermöglicht das modulare Design von Aerotech einen schnellen und einfachen Austausch der Kabel bei minimaler Ausfallzeit. Um die Integration in das endgültige System zu erleichtern, schließen wir alle vom Kunden benötigten Kabel, Luftschläuche usw. in unser CMS-Bündel ein. Beide Enden sind für eine einfache Integration in die Maschine des Kunden vollständig angeschlossen.