Fünf-Achsen-luftgelagertes/mechanisches Lagersystem

• Fünfachsige luftgelagerte Arbeitsstation mit Sub-Mikrometer-Genauigkeit am Arbeitspunkt
• XYZ-Linear-Luftlager mit zwei auf der Z-Achse integrierten Rotationsachsen
• Optimiertes Gegenwuchtsystem zur Maximierung der dynamischen Leistung
• Alle Achsen sind vollständig integriert und präzise ausgerichtet, wobei die Messtechnik auf Systemebene während der Montage durchgeführt wird
• Anwendungen umfassen Mikrobearbeitung, Laserbearbeitung, Oberflächenprofilierung, Dosieren und vieles mehr