HexGen HEX500-350HL Hexapod Sechs-DOF-Positionierungssystem

Description

Design-Merkmale

• Positionierung mit sechs Freiheitsgraden mit linearen Verfahrwegen bis 110 mm und winkligen Verfahrwegen bis 40°
• Präzisionsausführung mit garantierten Positioniergenauigkeitsangaben
• Minimale Inkrementalbewegung bis 20 nm in XYZ und 0,2 μrad in θxθyθz
• Flexible Konfigurationen und Anpassungen
• Vakuumvorbereitung auf Anfrage erhältlich
• Leistungsfähige Steuerung und Software mit Visualisierung von Arbeits- und Werkzeugkoordinatensystemen

Bei der Konstruktion und Spezifikation eines Bewegungssystems gibt es viele Kompromisse. Mit seiner hohen Tragfähigkeit, den großen Verfahrwegen, den hohen Geschwindigkeiten und der Präzision im Submikrometerbereich zwingt der HEX500-350HL Sie nicht zu Kompromissen bei den Anwendungsspezifikationen.

Überlegene Bauweise

Der HEX500-350HL wird mit sechs hochpräzisen Streben angetrieben, die mit vorgespannten Präzisionslagern, Kugelumlaufspindeln und Antriebskomponenten aufgebaut sind. Im Gegensatz zu Hexapoden von Mitbewerbern, die von bürstenbehafteten DC-Servomotoren angetrieben werden, wird der HEX500-350HL von bürstenlosen, nutenlosen AC-Servomotoren angetrieben, die die Lebensdauer und Leistung des Geräts maximieren. Die Servomotoren sind direkt mit der Kugelumlaufspindel des Aktuators gekoppelt, was eine höhere Antriebssteifigkeit, eine höhere Positioniergenauigkeit und eine bessere minimale inkrementelle Bewegung (20 nm in XYZ und 0,2 μrad für θxθyθz) im Vergleich zu Konkurrenzprodukten ermöglicht, die Riemen, Getriebe oder nachgiebige Kupplungen verwenden. Die Streben-Drehgelenke sind so konstruiert, dass sie eine geringe Reibung und hohe Steifigkeit aufweisen, was die Gesamtleistung des Hexapods erhöht.

Design-Flexibilität

Der HEX500-350HL wurde mit Blick auf Flexibilität und Anpassungsfähigkeit entwickelt. Die Plattform und die Basis können leicht mit anwenderspezifischen Funktionen oder Montagemustern modifiziert werden. Für Anwendungen, die andere Verfahrwege oder einen speziellen Leistungsparameter erfordern, kann die kinematische und/oder strukturelle Auslegung des Designs unter Berücksichtigung dieser Kriterien angepasst werden.

Der HEX500-350HL ist mit einer Absolutwertgeber-Option für Anwendungen erhältlich, die keine Bewegung beim Anfahren oder Stromausfall erfordern. Der Sockel und die Plattform haben eine freie Öffnung von 150 mm Durchmesser, um den Zugang zum Werkstück von unten zu ermöglichen. Die Basis ist mit Befestigungslöchern zur direkten Adaption an englische oder metrische optische Tische ausgestattet. Der Hexapod kann auch im Vakuum für anspruchsvolle Anwendungen in der Synchrotron-Proben- oder Optikjustage, der Halbleiterfertigung und -inspektion oder der Prüfung von Satellitensensoren vorbereitet werden.

Leistungsfähige Steuerungen und Software

Angetrieben wird der HEX500-350HL von der softwarebasierten Automation1-Maschinensteuerung von Aerotech. Die Automation1-Steuerung basiert auf jahrelanger Erfahrung mit schwierigen kinematischen Anwendungen und ermöglicht die einfache Programmierung und Steuerung des Hexapods in mehreren benutzerdefinierten Koordinatensystemen mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und Bewegungsvisualisierung in Echtzeit. Die kostenlose HexGen™ Auslegungssoftware von Aerotech bietet die Möglichkeit, den verfügbaren Verfahrweg und Arbeitsbereich des Hexapods einfach zu simulieren.