Mehrfach Z-Achsen geteiltes Brückensystem

• Selbstentwickeltes kartesisches Subsystem mit geteilten Achsen zur Minimierung von Positionierfehlern
• Mechanisch gelagerte Achsen für hohe Belastbarkeit und dynamische Verarbeitung
• Granitsockel mit passivem Isolationssystem und Stahlschweißkonstruktion zur Reduzierung externer Störungen
• Vier oben liegende Bearbeitungswerkzeugschlitten für mehr Flexibilität und Durchsatz
• Große Arbeitsebene in X und Y für große Substrate oder mehrere Arbeitsstellen