FiberMaxHP Mehrachsiges Photonik-Ausrichtungssystem
Der FiberMax®HP ist eine drei- bis sechsachsige Photonik-Ausrichtplattform der zweiten Generation, die auf der ANT-Nanopositionier-Produktlinie von Aerotech basiert. Sie wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der kritischen Photonikausrichtung in einer hochautomatisierten 24/7-Produktionsumgebung zu erfüllen, ohne Kompromisse bei Geschwindigkeit, Genauigkeit und Auflösung einzugehen.
Description
Specifications
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Gestaltungsmerkmal
- Photonik-Ausrichtplattform der 2. Generation auf Basis von Hochleistungs-Nanopositionierern ANT
- Bis zu 6 Achsen Präzisionsbewegung
- Bewährte Zuverlässigkeit für 24/7-Fertigung
- Kontaktloser Direktantrieb für alle Achsen ermöglicht Ausrichtung mit hohem Durchsatz
- Minimale inkrementelle Bewegung bis zu 2 nm bei linearen Bewegungen und 0,05 μrad bei Drehbewegungen
- Leistungsfähige Steuerung mit Standard-Abtastalgorithmen und virtueller Drehpunktkinematik
- Flexibles Design mit vielen Standardkonfigurationen und Optionen
- Schnittstelle zu branchenüblichen Leistungsmessgeräten
Der FiberMax®HP von Aerotech stellt einen bedeutenden Durchbruch in der Großserienfertigung und -prüfung von Photonik-Komponenten dar und spiegelt mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Entwicklung fortschrittlicher Positioniersysteme für OEMs und Endanwender in der Hochtechnologiebranche wider.
Ein hoch reproduzierbares, präzises und industrietaugliches Positioniersystem ist die Grundlage für die Großserienfertigung und -prüfung von Photonik-Komponenten. Die hochzuverlässigen, einzigartigen Antriebs- und Steuerungstechnologien von FiberMaxHP gewährleisten einen langjährigen, wartungsfreien Betrieb in einer Produktionsumgebung mit hohem Durchsatz rund um die Uhr.
Ultrapräziser Direktantrieb
Da die Ausrichttoleranzen bei neuen Silizium-Photonik-Bauteilen immer kleiner werden, ist die Forderung nach einer schnellen und hochpräzisen Ausrichtung unabdingbar. Die berührungslose FiberMaxHP-Direktantriebstechnologie ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtung, ohne den Produktionsdurchsatz zu beeinträchtigen. Mit einer minimalen inkrementellen Bewegung von bis zu 2 nm und Geschwindigkeiten von bis zu 400 mm/s erfüllt der FiberMaxHP die Anforderungen an das Ausrichten von Photonik-Packages der nächsten Generation.
Die im FiberMaxHP eingesetzte Direktantriebstechnologie bietet einen erheblichen Präzisions- und Durchsatzvorteil gegenüber anderen Ausrichtplattformen.
Leistungsfähige Kinematik und Scanning-Routinen
Aerotechs Steuerungen arbeiten mit einer Vielzahl von intelligenten Kameras und Machine-Vision-Systemen zusammen, um das erste Licht zu erleichtern. Unsere Power-Servo-Scan-Algorithmen können aufgerufen werden, um die durch die Geräte gekoppelte Leistung zu optimieren. Zu den Standard-Scanroutinen gehören schnelles Ausrichten, Hill Climb, Spiral- und Rastersuche in bis zu sechs Bewegungsachsen.
Unsere fortschrittliche Kinematik ermöglicht einen virtuellen Drehpunkt, bei dem die Rotation an einem beliebigen benutzerdefinierten Punkt im Raum erfolgen kann, anstatt am physikalischen Drehpunkt der FiberMaxHP-Achsen. Dies unterstützt die Geschwindigkeit und Genauigkeit der aktiven Ausrichtung. Wir haben ein umfangreiches Angebot an Software- und Hardware-Optionen, um Ihren speziellen Anforderungen gerecht zu werden.
Flexible Systemkonfiguration
Der FiberMaxHP ist mit drei bis sechs direkt angetriebenen Ausrichtachsen erhältlich, so dass die Plattform mit genau der Anzahl an Achsen spezifiziert werden kann, die für die jeweilige Anwendung benötigt wird. Da viele Anwendungen eine manuelle Justierung von Vorrichtungen und Teilen für eine einmalige Erstausrichtung erfordern, ist der FiberMaxHP mit ein- bis dreiachsigen manuellen Winkelausrichtungsachsen mit ±2° Bewegung ausgestattet. Diese manuellen Justierachsen werden direkt an der direktangetriebenen Plattform montiert und bieten einen wirtschaftlicheren Ansatz für die Ausrichtung, wenn eine Justierung nicht häufig erforderlich ist.
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Aerotech verfügt über viele Jahre Erfahrung in der Bereitstellung von Lösungen für die Photonikindustrie. Wir wissen, dass Ihre Anwendung einzigartig sein kann und Anpassungen erfordert. Der FiberMaxHP ist modular aufgebaut und kann mit speziellen Achsanordnungen, Befestigungen und Montagemustern leicht an die Anforderungen Ihrer spezifischen Anwendung angepasst werden.
FiberMaxHP |
-ZXY |
-ZXYT |
-ZXYR |
-ZXYP |
| Travels | X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm R: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm P: 20 deg |
| Accuracy - Base Performance (-PL1)(2,3) | X: ±3.0 μm Y: ±2.0 μm Z: ±3.5 μm |
X: ±4.2 μm Y: ±2.0 μm Z: ±4.7 μm T: ±25 μrad |
X: ±4.2 μm Y: ±2.0 μm Z: ±4.7 μm R: ±90 μrad |
X: ±4.2 μm Y: ±2.0 μm Z: ±4.7 μm P: ±90 μrad |
| Accuracy - Base Performance (-PL3)(2,3) | X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm T: ± 8 μrad |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm R: ±30 μrad |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm P: ±30 μrad |
| Resolution (Min. Incremental Motion) | 2 nm | X/Y/Z: 2 nm T: 0.05 μrad |
X/Y/Z: 2 nm R: 0.25 μrad |
X/Y/Z: 2 nm P: 0.25 μrad |
| Bidirectional Repeatability(3) | ±150 nm | X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 μrad |
X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm R: ±18 μrad |
X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm P: ±18 μrad |
| Maximum Speed(4) | X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s R: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s P: 150 deg/s |
| Load Capacity(5) | 2 kg | 1.5 kg | 1.5 kg | 1.5 kg |
| Stage Mass | 6.0 kg | 7.5 kg | 6.5 kg | 6.5 kg |
| Material | Anodized Aluminum | Anodized Aluminum | Anodized Aluminum | Anodized Aluminum |
| MTFB (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | 30,000 Hours | 30,000 Hours | 30,000 Hours |
FiberMaxHP |
-ZXYTR |
-ZXYTP |
-ZXYTPR |
| Travel | X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg R: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg P: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg P: 20 deg R: 20 deg |
| Accuracy - Standard(2,3) | X: ±5.5 μm Y: ±2.0 μm Z: ±6.0 μm T: ±25 μrad R: ±90 μrad |
X: ±5.5 μm Y: ±2.0 μm Z: ±6.0 μm T: ±25 μrad P: ±90 μrad |
X: ±6.5 μm Y: ±2.0 μm Z: ±7.0 μm T: ±25 μrad P/R: ±90 μrad |
| Accuracy - PLUS(2,3) | X: ±350 nm Y: ±200 nm Z: ±350 nm T: ±8 μrad R: ±30 μrad |
X: ±350 nm Y: ±200 nm Z: ±350 nm T: ±8 μrad P: ±30 μrad |
X: ±400 nm Y: ±200 nm Z: ±400 nm T: ±8 μrad P/R: ±30 μrad |
| Resolution (Min. Incremental Motion) | X/Z: 3 nm Y: 2 nm T: 0.05 μrad R: 0.25 μrad |
X/Z: 3 nm Y: 2 nm T: 0.05 μrad P: 0.25 μrad |
X/Z: 4 nm Y: 2 nm T: 0.05 μrad P/R: 0.25 μrad |
| Bidirectional Repeatability(3) | X/Z: ±200 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 μrad R: ±18 μrad |
/Z: ±200 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 μrad P: ±18 μrad |
X/Z: ±250 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 μrad P/R: ±18 μrad |
| Maximum Speed(4) | X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s R: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s P: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s P/R: 150 deg/s |
| Load Capacity(5) | 1 kg | 1 kg | 1 kg |
| Stage Mass | 8.0 kg | 8.0 kg | 9.0 kg |
| Material | Anodized Aluminum | Anodized Aluminum | Anodized Aluminum |
| MTFB (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | 30,000 Hours | 30,000 Hours |
Option |
Description |
| Drive System | Brushless Servomotor |
| Feedback | Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus Voltage | 80 VDC |
| Limit Switches | 5 V, Normally Closed |
| Home Switch | Near Center of Travel |
Dimensions
FiberMaxHP-ZXY
FiberMaxHP-ZXYT
FiberMaxHP-ZXYP
FiberMaxHP-ZXYR
FiberMaxHP-ZXYTP
FiberMaxHP-ZXYTR
FiberMaxHP-ZXYTPR
MADJ-AT1
MADJ-AT2
MADJ-AT3
MADJ-AT4
FiberMaxHP-MP
FiberMaxHP-ACP
AP-ANT95R-ANT20G-50
AP-ANT95R-ANT20G-90
Ordering Information
FiberMaxHP Multi-Axis Photonics Alignment System
Axis Configuration (Required)
| Option | Description |
| -ZXY | 3-axis platform (Z, X, Y) |
| -ZXYT | 4-axis platform (Z, X, Y, Theta) |
| -ZXYP | 4-axis platform (Z, X, Y, Pitch) |
| -ZXYR | 4-axis platform (Z, X, Y, Roll) |
| -ZXYTP | 5-axis platform (Z, X, Y, Theta, Pitch) |
| -ZXYTR | 5-axis platform (Z, X, Y, Theta, Roll) |
| -ZXYTPR | 6-axis platform (Z, X, Y, Theta, Pitch, Roll) |
Manual Adjustment (Optional)
| Option | Description |
| -ADJ1 | 3-axis manual angular adjustment (±2 deg), Yaw/Pitch/Roll |
| -ADJ2 | 2-axis manual angular adjustment (±2 deg), Pitch/Roll |
| -ADJ3 | 2-axis manual angular adjustment (±2 deg), Yaw/Pitch |
| -ADJ4 | 2-axis manual angular adjustment (±2 deg), Yaw/Roll |
| -ADJ5 | 1-axis manual angular adjustment (±2 deg), Pitch |
| -ADJ6 | 1-axis manual angular adjustment (±2 deg), Roll |
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP1 | Mounting plate for optical table mounting |
Performance Level (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base performance |
| -PL3 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (Ordered as Separate Line Item)
| Option | Description |
| AP-ANT95R-ANT20G-50 | Adapter plate, ANT95R to ANT20G-50 |
| AP-ANT95R-ANT20G-90 | Adapter plate, ANT95R to ANT20G-90 |
Manual Angular Adjustment Stages
| Option | Description |
| MADJ-AT1 | 1-axis, Pitch or Roll (±2 deg) |
| MADJ-AT2 | 2-axis, Pitch/Roll (±2 deg) |
| MADJ-AT3 | 2-axis, Yaw/Pitch or Yaw/Roll (±2 deg) |
| MADJ-AT4 | 3-axis, Yaw/Pitch/Roll (±2 deg) |