Zweiachsiges Luftlagersystem

• Großformatiges luftgelagertes Bewegungssystem, ausgelegt für <1 um Fehler am Arbeitspunkt
• Bis zu 100 kg Tragfähigkeit
• XYZ-Linear-Luftlager mit zwei Rotations-Luftlagertischen
• Unterstützt durch ein Luftisolationssystem und eine Stahlschweißkonstruktion zur Minimierung von externen Störungen
• Koordinierte Steuerung in fünf Achsen mit einem Aerotech Motion Controller
• Anwendungen umfassen Mikrobearbeitung, Laserbearbeitung, Oberflächenprofilierung und vieles mehr