Optisches Testsystem für Wafer und Die-Level

Optische Oberflächen- und Kantenprüfungen auf Wafer- und Die-Ebene sind mit unseren optischen Prüflösungen einfach zu bewerkstelligen. Durch den Einsatz von direkt angetriebenen Achsen erreichen unsere Positionierlösungen einen hohen Durchsatz und eine hohe Präzision auch über lange Verfahrwege, ohne dass feine und grobe mechanische Positionierachsen erforderlich sind.

• Nanopositioniersysteme mit minimaler inkrementeller Bewegung bis zu 0,5 nm
• Wafer-Positionierungstische mit rotierenden und vertikalen Ausrichtungsachsen für höchste Flexibilität
• Komponenten-, Subsystem- und Systemlösungen sind für Ihre Prozessentwicklung und -integration verfügbar
• Leichte Integration optischer Leistungsmessungen
• Einfache Koordination mit anderen Bewegungsachsen, die elektrische Sonden, Mikroskope und andere Testgeräte tragen