ABL1500Z Luftgelagerte direkt angetriebener Hubtisch
Der ABL1500Z ist eine vertikal verschiebbare Version des luftgelagerten Tisches der Serie ABL1500. Der ABL1500Z ist ideal geeignet für Anwendungen mit großen Offsetlasten und wo extreme Genauigkeit gefordert ist.
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Gestaltungsmerkmale
- Gestaltet für Hochleistungs-Scannen und -Inspektion
- Aktive Luftvorspannung auf allen luftgelagerten Flächen
- Lineare Encoder-Rückführung bietet Subnanometer-Auflösung
- Hohe Steifigkeit für hohe Lasten und hervorragende geometrische Leistung
- Vier Modelle mit Verfahrwegen von 50 bis 200 mm
- Integraler Gewichtsausgleich
In der Spitzenfertigung, insbesondere in der Halbleiter- und Datenspeicherindustrie, werden Positioniertoleranzen gefordert, die die Möglichkeiten herkömmlicher kugelgelagerter und mechanisch gelagerter Positioniersysteme übersteigen. Der ABL1500Z mit seiner voll aktiven Vorspannung, seiner außergewöhnlich hohen Steifigkeit und seinen hervorragenden geometrischen Eigenschaften wurde speziell für diese Anforderungen entwickelt.
Luftgelagertes Design für hohe dynamische Leistung
Der ABL1500Z verfügt über eine Luft-auf-Luft-Vorspannung sowohl an den vertikalen als auch an den horizontalen Flächen. Der gegenläufige Dünnschichtdruck hält die Nennspalttoleranz des Lagers aufrecht. Diese Konstruktion ergibt zusammen mit der großen luftgelagerten Oberfläche, die die Last über eine große Fläche verteilt, einen Versteller mit hervorragender Steifigkeit, der ideal für schwere oder versetzte Belastungen ist.
Aerotechs firmeneigene Fertigungstechniken resultieren in einem Versteller mit unübertroffenen geometrischen Eigenschaften, die die Leistung maximieren, indem sie überragende Spezifikationen für Neigung, Rolle, Gieren, Geradheit und Ebenheit liefern.
Zero-Cogging-Linearmotorantrieb
Die treibende Kraft hinter dieser Bühne ist der bürstenlose Linear-Servomotor der BLMC-Serie von Aerotech. Der BLMC verwendet einen eisenlosen Forcer, was bedeutet, dass es kein Cogging und keine Anziehungskräfte gibt, was zu einer unübertroffenen Leichtgängigkeit der Bewegung führt.
Keine Wartung
Unser völlig berührungsloses Luftlager, der berührungslose Linearmotorantrieb und die berührungslose Rückmeldevorrichtung gewährleisten einen jahrelangen wartungsfreien Betrieb bei den hohen Leistungswerten, die von Aerotech-Geräten erwartet werden. Da es keinen mechanischen Kontakt zwischen den beweglichen Elementen gibt, unterliegt der ABL1500Z keinem Verschleiß und keiner Leistungsminderung im Laufe der Zeit. Die Lebensdauer ist praktisch unbegrenzt und da es keine Schmierung gibt - nur sauberes, trockenes Gas - sind Luftlager ideal für Reinraum- und medizinische Anwendungen.
Kabelmanagement
Wir optimieren sorgfältig den Biegeradius der Kabel, um einen jahrelangen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Im unwahrscheinlichen Fall eines Ausfalls ermöglicht das modulare Design von Aerotech einen schnellen und einfachen Austausch der Kabel bei minimaler Ausfallzeit.
Wir liefern alle vom Kunden benötigten Kabel, Luftschläuche usw. in unserem CMS-Bündel mit, um die Integration in das endgültige System zu erleichtern. Beide Enden sind für eine einfache Integration in die Maschine des Kunden vollständig angeschlossen.
Ordering Information
Travel (Required)
Option | Description |
-050 | 50 mm travel |
-100 | 100 mm travel |
-150 | 150 mm travel |
-200 | 200 mm travel |
Feedback (Required)
Option | Description |
-E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
-E2 | Incremental linear encoder, 0.1 µm TTL line driver output |
-E3 | High-accuracy incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
Cable Management (Required)
Option | Description |
-CMS1 | Single axis cable management system |
-CMS2 | Cable management system for ZT assembly |
Metrology (Required)
Option | Description |
-PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
-PL2 | Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
Option | Description |
-TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
-TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (to be ordered as a separate line item)
Option | Description |
ALIGN-NPA | Non-precision XY assembly |
ALIGN-PA10 | XY assembly; 10 arc sec orthogonality. Alignment to within 7 microns orthogonality for short travel stages. |
ALIGN-PA5 | XY assembly; 5 arc sec orthogonality. Alignment to within 3 microns orthogonality for short travel stages. |
ABF | Air-bearing filtration kit |