PlanarDLA Zweiachsiger mechanisch gelagerter Direktantriebstisch mit Apertur

Description

Gestaltungsmerkmale

• Integrierter, flacher XY-Linearmotortisch mit freier Apertur
• Exzellente geometrische Leistung (Geradheit bis ±0,5 µm, Ebenheit bis ±1,25 µm)
• Optimiert für hochdynamische Anwendungen
• Geschwindigkeiten bis 2 m/s und Beschleunigungen bis 2g
• Integriertes Kabelmanagement
• Große Auswahl - neun Modelle in Verfahrweg und Genauigkeit

Ultra-präzises Tischdesign

Das Planar_DLA XY-Design sorgt für eine unvergleichliche planare geometrische Leistung in Anwendungen, bei denen Geradheit und Ebenheit der Bewegung entscheidend sind. Hochpräzise Wälzlager, präzisionsbearbeitete Oberflächen und berührungslose Linearmotoren mit Direktantrieb, die durch das Steifigkeitszentrum der Achsen fahren, ergeben einen Positioniertisch mit außergewöhnlichen geometrischen Toleranzen (Geradheit bis ±0,5 µm und Ebenheit bis ±1,25 µm).

Die Strukturelemente des Planar_DLA sind auf hohe Dynamik und hohe Steifigkeit für anspruchsvollste dynamische Anwendungen optimiert. Mit diesem optimierten Design erreicht der Planar_DLA hohe Servobandbreiten bei gleichzeitiger Maximierung der verfügbaren freien Apertur und minimaler Bauhöhe. Mit Geschwindigkeiten von 2 m/s und Beschleunigungen von 2 g ermöglicht der Planar_DLA einen hohen Durchsatz und eine hochpräzise Bearbeitung, was zu einer überragenden Prozessausbeute und niedrigen Gesamtbetriebskosten führt.

Berührungslose Direktantriebstechnik

Nur die berührungslose Direktantriebstechnik bietet hohe Geschwindigkeit und genaue Positionierung bei wartungsfreiem Betrieb und langer Lebensdauer. Das Herzstück des Planar_DLA ist die von Aerotech entwickelte Direktantriebstechnologie. Diese Antriebstechnologie ermöglicht eine unübertroffene Leistung im Vergleich zu anderen schraubenbasierten und Linearmotor-Konstruktionen des Wettbewerbs.

Alle Planar_DLA-Tische sind mit einem oder zwei Motoren pro Achse erhältlich, was die Optimierung jeder einzelnen Achse für die jeweilige Anwendung und den Prozess ermöglicht. Bei zwei Motoren wirkt die resultierende Antriebskraft über die Reibungs- und Steifigkeitszentren, was zu einer überlegenen geometrischen Leistung und Genauigkeit führt, während ein Motor pro Achse eine wirtschaftlichere Wahl darstellt, wenn kein hoher Durchsatz und keine strengste Positionierleistung erforderlich sind.

Vielfältige Optionen für das Kabelmanagement

Das standardmäßige Kabelmanagementsystem des Planar_DLA ist in den Tisch integriert und für lange Lebensdauer und Leistung optimiert. Mehrere Standardoptionen sind für zusätzliche Servoachsen, Luft-/Vakuumleitungen für Vakuumspannvorrichtungen oder andere Prozesspneumatik verfügbar.

Extreme Positionierleistung

Der Planar_DLA ist in drei Optionen für die Positionierleistung erhältlich. Basierend auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Konstruktion auf Systemebene, die nicht nur die Positioniermechanik, sondern auch die Software und Elektronik umfasst, hat Aerotech fortschrittliche Technologien entwickelt, um die Grenzen der Präzision zu erweitern. Die Hochleistungsoptionen -PLUS und -ULTRA ermöglichen Genauigkeiten und Geradheitswerte bis zu ±500 nm und Orthogonalität bis zu 5 µrad.