ANT130LZ Single-Axis Z Nanopositioning Stages
Unsere ANT130LZ-Tische der zweiten Generation wurden speziell für Bewegungen und Positionierleistungen im Nanometerbereich in vertikaler Ausrichtung entwickelt. Mit einem vom Benutzer einstellbaren, extrem reibungsarmen pneumatischen Gegengewicht sind sie in ihrer Klasse führend in der Kombination von Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Ihre beeindruckenden dynamischen Fähigkeiten und ihre große Tragfähigkeit machen die ANT130LZ-Tische zu einer hervorragenden Wahl, wenn Ihr Prozess eine überragende vertikale Bewegung erfordert.
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Design-Merkmale
- Verbessertes Design der zweiten Generation
- Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 1 nm - NEU
- Positionierleistung im Nanometerbereich über Verfahrwege bis zu 60 mm
- Kompensiert Nutzlasten bis zu 10 kg für eine präzise Leistung in vertikaler Richtung mit einem vom Benutzer einstellbaren, extrem reibungsarmen Ausgleichsgewicht
- Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und große Tragfähigkeit
- Optimiert den Prozessdurchsatz und maximiert die Zuverlässigkeit durch den eisenlosen Linearmotor mit Direktantrieb
Hauptanwendungen
Die ANT130LZ-Tische sind ideal für hochpräzise und hochdynamische vertikale Positionierungsanwendungen, einschließlich
- Montage und Inspektion in der Photonik
- Faserausrichtung und -optimierung
- Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
- Sensorprüfung und -qualifizierung
- Halbleiterverarbeitung und -inspektion
- Forschung & Laboranwendungen
Branchenführende Bewegungsleistung
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine extrem feine Systemauflösung. Der ANT130LZ ist jetzt mit einer verbesserten Hochleistungs-Encoder-Option erhältlich und kann problemlos minimale Inkrementalschritte von 1 nm erreichen. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich. Darüber hinaus wirkt das minimal beeinflussende Ausgleichsgewicht den von Ihrer Nutzlast verursachten Gravitationskräften entgegen, was zu einer branchenführenden Leistung und optimalen thermischen Stabilität führt.
Berührungsloser Direktantrieb
Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT130LZ-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. In Verbindung mit Anti-Kriech-Kreuzrollenlagern bietet der ANT130LZ eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften, die Ihre Prozessfähigkeit verbessern. Die optimierte Antriebs- und Lagerkombination, die in einem kompakten Formfaktor untergebracht ist, bietet deutliche Leistungsvorteile in vielen Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensorprüfung und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.
Flexibles Systemdesign
Die ANT130LZ-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können problemlos für flexible Systemdesigns und Mehrachsenkonfigurationen kombiniert werden. Die ANT130LZ-Tische sind auch in einer Low-Profile-Variante erhältlich und lassen sich leicht mit anderen Produkten wie ANT130L, ANT130XY, ANT130R, ANT130V, ANT20G und anderen kombinieren, um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu realisieren.
Dimensions
ANT130LZ
Ordering Information
ANT130LZ Single-Axis Z Nanopositioning Stage
Travel (Required)
| Option | Description |
| -035 | 35 mm travel |
| -060 | 60 mm travel |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
| -E2 | Incremental linear encoder, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution |
| -E3 | Absolute + Incremental 1 Vpp linear dual-track encoder |
| -E4 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output, high-performance |
Connectors (Required)
| Option | Description |
| -CN1 | Single 25-pin D connector, 25DU |
| -CN2 | Two-connectors, 4-pin HPD and 25-pin D, 4DU-25DU |
- The -CN1 option is limited to a maximum bus voltage of 80 V. The -CN2 option is required for higher bus voltages.
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base performance |
| -PL2 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used or shipped together (ex: stage only). These components may or may not be part of a larger system |