ANT130R Einachsiger rotierender Nanopositioniertische mit Direktantrieb
Direkt angetriebene Drehtische der ANT130R Serie bieten eine beispiellose Positionsstabilität und eine inkrementelle Bewegungsleistung von unter 0,01 Bogensekunden und werden in zwei Genauigkeitsstufen angeboten.
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Gestaltungsmerkmale
- 0,01 Bogensekunden Auflösung
- 0,005 Bogensekunden In-Position-Stabilität
- Erhältlich mit begrenzter und unbegrenzter Rotation
- Hervorragende Bewegungsspezifikationen für Fehler
- Mehrachsige Konfigurationen
- Hohe dynamische Leistung
Mehrachsen-Fähigkeiten
Die ANT130R-Serie ist auf Kompatibilität und einfache Integration mit den ANT-Lineartischen von Aerotech ausgelegt. Zusammen bieten diese Tische Genauigkeit, Stabilität und kleine Leistungsmerkmale für fast alle Anwendungen in der Nanofabrikation oder Inspektion.
Dynamische Leistung
Zusätzlich zu den hohen Präzisionswerten bieten diese Systeme eine hohe dynamische Leistung und einen hohen Durchsatz, ideal für Prozesse, die Geschwindigkeit und Präzision erfordern.
Haltbarkeit
Die ANT130R-Tischserie wurde für den Betrieb in einer 24/7-Fertigungsumgebung entwickelt. Im Gegensatz zu anderen rotierenden Geräten benötigt der ANT130R keine periodische Wartung, was einen jahrelangen, störungsfreien Betrieb gewährleistet.
Ordering Information
Travel (Required)
Option | Description |
-360 | Continuous travel |
-020 | Limited travel, +/- 10 degrees |
-180 | Limited travel, +/- 90 degrees |
Mounting Plate (Optional)
Option | Description |
-MP | Mounting plate |
Performance Grade (Required)
Option | Description |
-PL1 | Base performance |
-PL2 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
Option | Description |
-TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
-TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |