ABL1500 Luftgelagerter, direkt angetriebener Lineartisch
Moderne Fertigungs- und Inspektionsprozesse erfordern Positionierungstoleranzen, die über die Möglichkeiten herkömmlicher kugelgelagerter und mechanisch gelagerter Positioniersysteme hinausgehen. Der Luftlagertisch ABL1500 mit seiner voll aktiven Vorspannung, außergewöhnlich hohen Steifigkeit und hervorragenden geometrischen Eigenschaften wurde speziell für diese Anforderungen entwickelt.
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Design-Merkmale
- Gestaltet für Hochleistungs-Scanning und -Inspektion
- Aktive Luftvorspannung auf allen Luftlagerflächen
- Lineare Encoder-Rückführung bietet Subnanometer-Auflösung
- Hohe Steifigkeit für hohe Lasten und hervorragende geometrische Leistung
- Weg bis zu 500 mm
Luftgelagertes Design für hohe dynamische Leistung
Der ABL1500 verfügt über eine Luft-auf-Luft-Vorspannung sowohl an den vertikalen als auch an den horizontalen Flächen. Der entgegengesetzte Dünnschichtdruck hält die Nennspalttoleranz des Lagers aufrecht. Diese Konstruktion, zusammen mit der großen Luftlagerfläche, die die Last über eine große Fläche verteilt, ergibt einen Versteller mit hervorragender Steifigkeit, der ideal für schwere oder versetzte Belastungen ist.
Eigene Fertigungstechniken resultieren in einem Versteller mit unübertroffenen geometrischen Eigenschaften. Das Luftlager hat einen inhärenten Mittelungseffekt, der die Leistung maximiert. Der dünne Film füllt kleine Oberflächenhohlräume und gleicht andere Unregelmäßigkeiten aus. Diese Eigenschaft führt zu überragenden Spezifikationen für Pitch, Roll, Gier, Geradheit und Ebenheit.
Linearer Motorantrieb
Die treibende Kraft hinter dieser Bühne ist der bürstenlose Linear-Servomotor der BLMC-Serie von Aerotech. Die lange Geschichte und Erfahrung von Aerotech als Motorhersteller spiegelt sich in diesem Design wider. Der BLMC verwendet einen eisenlosen Forcer, was bedeutet, dass es kein Cogging und keine Anziehungskräfte gibt, was zu einer unübertroffenen Gleichmäßigkeit der Bewegung führt. Der BLMC ist in der Lage, hohe Kräfte und Geschwindigkeiten zu erzeugen und stellt somit die ultimative Kombination aus Kraft und Leistung dar.
Keine Wartung
Unser völlig berührungsloses Luftlager, der berührungslose Linearmotorantrieb und die berührungslose Rückmeldevorrichtung gewährleisten einen jahrelangen wartungsfreien Betrieb bei den hohen Leistungswerten, die von Aerotech-Geräten erwartet werden. Da es keinen mechanischen Kontakt zwischen den beweglichen Elementen gibt, unterliegt der ABL1500 keinem Verschleiß und keiner Leistungsminderung im Laufe der Zeit. Die Lebensdauer ist praktisch unbegrenzt und da es keine Schmierung gibt - nur sauberes, trockenes Gas - sind Luftlager ideal für Reinraum- und medizinische Anwendungen.
Kabelmanagement
Wir optimieren sorgfältig den Biegeradius der Kabel, um einen jahrelangen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Im unwahrscheinlichen Fall eines Ausfalls ermöglicht das modulare Design von Aerotech einen schnellen und einfachen Austausch der Kabel bei minimaler Ausfallzeit. Wir liefern alle vom Kunden benötigten Kabel, Luftschläuche usw. in unserem CMS-Bündel mit, um die Integration in das endgültige System zu erleichtern. Beide Enden sind für eine einfache Integration in die Maschine des Kunden vollständig angeschlossen.
Ordering Information
Travel (Required)
Option | Description |
-050 | 50 mm travel |
-100 | 100 mm travel |
-200 | 200 mm travel |
-300 | 300 mm travel |
-400 | 400 mm travel |
-500 | 500 mm travel |
Feedback (Required)
Option | Description |
-E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
-E2 | Incremental linear encoder, 0.1 µm TTL line driver output |
-E3 | High-accuracy incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
Cable Management (Required)
Option | Description |
-CMS1 | Single axis cable management system |
-CMS2 | Cable management system for XY assembly |
-CMS3 | Cable management system for Y axis, upper axis only |
-CMS4 | Cable management system for YZ assembly, upper axis only |
Metrology (Required)
Option | Description |
-PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
-PL2 | Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
Option | Description |
-TAS | Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
-TAC | Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (to be ordered as a separate line item)
Option | Description |
ALIGN-NPA | Non-precision XY assembly |
ALIGN-PA10 | XY assembly; 10 arc sec orthogonality. Alignment to within 7 microns orthogonality for short travel stages. |
ALIGN-PA5 | XY assembly; 5 arc sec orthogonality. Alignment to within 3 microns orthogonality for short travel stages. |
ABF | Air-bearing filtration kit |