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Gestaltungsmerkmale

  • Breite Basis für große versetzte Lasten
  • Leistungsstarker Doppel-Linearmotorantrieb
  • Konzipiert für Hochleistungs-Scanning und -Inspektion
  • Aktive Luftvorspannung an allen luftgelagerten Flächen
  • Lineare Encoder-Rückführung bietet Sub-Nanometer-Auflösung
  • Hohe Steifigkeit für hohe Lasten und hervorragende geometrische Leistung
  • Vier Modelle mit Verfahrwegen von 200 mm bis 500 mm

Spitzenindustrien, insbesondere in den Bereichen Halbleiter- und Hochleistungstest und -messung, verlangen nach Positioniertoleranzen, die über die Möglichkeiten herkömmlicher kugelgelagerter und mechanisch gelagerter Positioniersysteme hinausgehen. Das ABL1500WB mit seiner voll aktiven Vorspannung, der außergewöhnlich hohen Steifigkeit und den hervorragenden geometrischen Eigenschaften wurde speziell für diese Anforderungen entwickelt.

Luftgelagertes Design für hohe dynamische Leistung

Der ABL1500WB verfügt über eine Luft-auf-Luft-Vorspannung sowohl an den vertikalen als auch an den horizontalen Flächen. Der gegenläufige Dünnschichtdruck hält die Nennspalttoleranz des Lagers aufrecht. Diese Konstruktion ergibt zusammen mit der großen Luftlagerfläche, die die Last über eine große Fläche verteilt, einen Versteller mit hervorragender Steifigkeit, der sich ideal für schwere oder versetzte Belastungen eignet.

Aerotechs firmeneigene Fertigungstechniken resultieren in einem Versteller mit unübertroffenen geometrischen Eigenschaften, die die Leistung maximieren, indem sie überlegene Spezifikationen für Neigung, Drehung, Gieren, Geradheit und Ebenheit liefern.

Linearer Motorantrieb

Die treibende Kraft hinter dieser Bühne ist der bürstenlose Linear-Servomotor der BLMC-Serie von Aerotech. Der BLMC verwendet einen eisenlosen Forcer, was bedeutet, dass es kein Cogging und keine Anziehungskräfte gibt, was zu einer unübertroffenen Leichtgängigkeit der Bewegung führt.

Keine Wartung

Unser völlig berührungsloses Luftlager, der berührungslose Linearmotorantrieb und die berührungslose Rückmeldevorrichtung gewährleisten einen jahrelangen wartungsfreien Betrieb bei den hohen Leistungswerten, die von Aerotech-Geräten erwartet werden. Da es keinen mechanischen Kontakt zwischen den beweglichen Elementen gibt, gibt es beim ABL1500WB keinen Verschleiß oder Leistungsabfall im Laufe der Zeit. Die Lebensdauer ist praktisch unbegrenzt und da es keine Schmierung gibt - nur sauberes, trockenes Gas - sind Luftlager ideal für Reinraum- und medizinische Anwendungen.

Kabelmanagement

Wir optimieren sorgfältig den Biegeradius der Kabel, um einen jahrelangen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Im unwahrscheinlichen Fall eines Ausfalls ermöglicht das modulare Design von Aerotech einen schnellen und einfachen Austausch der Kabel bei minimaler Ausfallzeit.

Wir liefern alle vom Kunden benötigten Kabel, Luftschläuche usw. in unserem CMS-Bündel mit, um die Integration in das endgültige System zu erleichtern. Beide Enden sind für eine einfache Integration in die Maschine des Kunden vollständig angeschlossen.

Dimensions

ABL1500WB



Ordering Information

Travel (Required)

Option Description
-200 200 mm travel
-300300 mm travel
-400400 mm travel
-500500 mm travel

Feedback (Required)

Option Description
-E1 Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output
-E2Incremental linear encoder, 0.1 µm TTL line driver output
-E3 High-accuracy incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output

Cable Management (Required)

Option Description
-CMS1 Single axis cable management system
-CMS2Cable management system for XY assembly
-CMS3 Cable management system for XYZ axis

Metrology (Required)

Option Description
-PL1Metrology, uncalibrated with performance plots
-PL2 Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots

Integration (Required)

Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.

Option Description
-TAS Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration.
-TAC Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system.

Accessories (to be ordered as a separate line item)

Option Description
ALIGN-NPA Non-precision XY assembly
ALIGN-PA10 XY assembly; 10 arc sec orthogonality. Alignment to within 7 microns orthogonality for short travel stages.
ALIGN-PA5 XY assembly; 5 arc sec orthogonality. Alignment to within 3 microns orthogonality for short travel stages.
ABF Air-bearing filtration kit

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