ABRS Luftgelagerter, direkt angetriebener Drehtisch
Unsere luftgelagerten Drehtische der ABRS-Serie bieten eine hervorragende Winkelpositionierung, Geschwindigkeitsstabilität und Fehlerbewegungsleistung in einem außergewöhnlich flachen Gehäuse. Der ABRS wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Wafer-Inspektion, der Hochpräzisions-Metrologie, der Röntgenbeugungssysteme, der optischen Inspektion und Fertigung sowie der MEMS/Nanotechnologie-Bauteilfertigung zu erfüllen.
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Gestaltungsmerkmale
- Direkt angetriebener, nutenloser, bürstenloser Servomotor
- Null-Rastmoment-Motor für hervorragende Geschwindigkeitsstabilität
- Hervorragende Fehlerbewegungs- und Taumelperformance
- Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
- Flachprofil-Planarausführung
- Kein mechanischer Kontakt
Kompaktes Gehäuse
Das Design des direkt angetriebenen Drehtisches der ABRS-Serie wurde optimiert, um die Tischhöhe zu minimieren. Das niedrige Profil des Tisches reduziert die effektive Arbeitshöhe des Systems und minimiert so ""Stack-up""-bedingte Fehler. Zusätzlich zur geringen Bauhöhe bietet die ABRS-Serie eine freie Öffnung, die für Produktdurchführung, Laserstrahlzuführung, Kabeldurchlass oder anwendungsspezifische Anforderungen genutzt werden kann.
Überlegene mechanische Konstruktion
Das ABRS-Design verfügt über große luftgelagerte Flächen für eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit, die nicht nur ausgezeichnete axiale und radiale Fehlerbewegungen, sondern auch hervorragende Kippfehlerbewegungen erzeugen. Die daraus resultierende Planlaufabweichung ist deutlich besser als bei anderen luftgelagerten Rundtischen und Spindeln, was für Anwendungen, die eine außergewöhnliche Planlaufleistung erfordern, von großem Vorteil ist.
Bürstenloser Direktantrieb
Um die Positionierleistung zu maximieren, verwendet die ABRS-Serie den nutenlosen, bürstenlosen Motor der S-Serie von Aerotech. Der Motor verwendet ein fortschrittliches Magnetkreisdesign, um ein hohes Drehmoment bei minimaler Wärmeentwicklung zu erzeugen. Das nutenlose Design ist inhärent rastmomentfrei und frei von Drehmomentwelligkeit. Das macht ABRS-Tische ideal für Anwendungen, die gleichmäßige Scangeschwindigkeiten bei niedrigen oder hohen Geschwindigkeiten erfordern.
Genaue Positionierung
Ein optischer Encoder gehört zur Standardausstattung des ABRS. In Verbindung mit den Feedback-Multiplikatoren und Steuerungen von Aerotech sind Auflösungen von <0,03 Bogensekunden erreichbar.
Kundenspezifische Ausführungen
Kundenspezifische Versionen des ABRS sind für Tariertisch- und Trägheitsführungsprüfstandsanwendungen erhältlich.
Dimensions
ABRS150MP
ABRS200MP
ABRS250MP
ABRS300MP
Ordering Information
ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage
| Option | Description |
| ABRS150MP | 150 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
| ABRS200MP | 200 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
| ABRS250MP | 250 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
| ABRS300MP | 300 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental encoder, 1 Vpp |
| -E2 | Incremental encoder, TTL, x50 interpolation |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |