ANT130LZS Niedrigprofil-Z-Nanopositionierungstische
Die ANT130LZS-Tische stellen die Spitze der vertikalen Bewegungsleistung mit einem ultraflachen Profil dar. Ausgestattet mit zwei seitlich montierten pneumatischen Gegengewichten mit extrem geringen Reibungseigenschaften, kombinieren sie in hervorragender Weise Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Mit ihren beeindruckenden dynamischen Fähigkeiten und ihrer großen Tragfähigkeit sind die ANT130LZS-Tische die ideale Wahl, wenn Sie überragende vertikale Bewegungen in einem kompakten Formfaktor benötigen.
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Design-Merkmale
- Verbessertes Design der zweiten Generation
- Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 1 nm - NEU
- Positionierleistung im Nanometerbereich bei Verfahrwegen bis zu 160 mm
- Ultraflaches Profil mit zwei seitlich montierten Gegengewichten, die bis zu 14 kg Nutzlast ausgleichen können, für ultrapräzise Leistung in vertikaler Richtung
- Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und große Tragfähigkeit
- Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor
- Lässt sich leicht in mehrachsige Bewegungssysteme integrieren
Hauptanwendungen
Die ANT130LZS-Tische sind ideal für hochpräzise und hochdynamische vertikale Positionierungsanwendungen mit minimalen Anforderungen an die Stellfläche, einschließlich:
- Montage und Inspektion in der Photonik
- Faserausrichtung und -optimierung
- Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
- Sensorprüfung und -qualifizierung
- Halbleiterverarbeitung und -inspektion
- Forschung & Laboranwendungen
Branchenführende Bewegungsleistung
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine extrem feine Systemauflösung. Der ANT130LZS ist jetzt mit einer verbesserten Hochleistungs-Encoder-Option erhältlich und kann problemlos minimale Inkrementalschritte von 1 nm erreichen. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich. Darüber hinaus wirkt das minimal einwirkende Gegengewicht den von der Nutzlast verursachten Gravitationskräften entgegen, was zu einer branchenführenden Leistung und optimalen thermischen Stabilität führt.
Berührungsloser Direktantrieb
Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT130LZS-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. In Verbindung mit Anti-Kriech-Kreuzrollenlagern liefert der ANT130LZS eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften, die Ihre Prozessfähigkeit verbessern. Die optimierte Antriebs- und Lagerkombination, die in einem flachen Formfaktor untergebracht ist, bietet eindeutige Leistungsvorteile in vielen Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensortests und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.
Flexibles Systemdesign
Die ANT130LZS-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können für flexible Systemdesigns und Mehrachsenkonfigurationen einfach kombiniert werden. ANT130LZS-Tische lassen sich leicht mit anderen Produkten kombinieren - einschließlich ANT130L, ANT130XY, ANT130R, ANT20G, AGS-Portalen und anderen - um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu ermöglichen.
Dimensions
ANT130LZS
ANT130LZS Mounting Plate
Ordering Information
ANT130LZS Low-Profile Z Nanopositioning Stage
Travel (Required)
| Option | Description |
| -035 | 35 mm travel |
| -060 | 60 mm travel |
| -110 | 110 mm travel |
| -160 | 160 mm travel |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
| -E2 | Incremental linear encoder, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution |
| -E3 | Absolute + Incremental 1 Vpp linear dual-track encoder |
| -E4 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output, high-performance |
Connectors (Required)
| Option | Description |
| -CN1 | Single 25-pin D connector, 25DU |
| -CN2 | Two connector, 4-pin HPO and 25-pin D, 4DU-25DU |
- The -CN1 option is limited to a maximum bus voltage of 80 V. The -CN2 option is required for higher bus voltages.
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP | Mounting plate |
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base performance |
| -PL2 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used or shipped together (ex: stage only). These components may or may not be part of a larger system |