AVS1000 Mechanisch gelagerter Hubtisch mit Kugelgewindetrieb
Unsere Tische der AVS1000-Serie bieten die ideale Lösung für Anwendungen, bei denen große oder schwere Lasten über sehr kleine inkrementelle Bewegungen in der Höhe über einer horizontalen Ebene bewegt werden müssen. Niedrige Profile und präzise Bewegungsmöglichkeiten machen diese Tische ideal für den Einsatz in der Halbleiterfertigung und -inspektion, in der automatischen Werkzeugausrichtung, in Machine-Vision-Inspektionssystemen und in Laserbearbeitungsanwendungen.
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Gestaltungsmerkmale
- Hochlast-Hubtisch mit Apertur
- Submicron-Positionierung im geschlossenen Regelkreis
- Exzellente Pitch- und Giercharakteristik über den gesamten Stellweg
- 5 mm oder 10 mm Verfahrweg; kundenspezifische Ausführungen für andere Verfahrwege verfügbar
- Optionaler Reinraum- und ESD-Schutz
- Präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindel für hohe Leistung
Qualitätsdesign sorgt für überragende Leistung
Die AVS1000-Serie ermöglicht die präzise Anhebung einer Last in einer vertikalen Ebene durch eine bewegliche Keilkonstruktion. Der präzisionsbearbeitete Keilblock wandelt die horizontale Bewegung einer präzisionsgeschliffenen Kugelumlaufspindel in eine vertikale Anhebung der Tischplatte der AVS1000-Serie um.
Gedichtete Linearführungslager mit integrierten Abstreifern sorgen für eine hervorragende Tragfähigkeit, lange Lebensdauer und eine gleichmäßige, präzise Bewegung. Eine stabile und parallele Vertikalbewegung ohne Wackeln oder horizontale Abweichung der Plattform ist gewährleistet.
Durch das sorgfältige Design des Keilwinkels und des Lagersystems erreicht die AVS1000-Serie eine Auflösung im Submikronbereich und behält trotzdem ein kompaktes Profil bei. Die optionale Werkskalibrierung ist verfügbar, um die Standardgenauigkeit und Wiederholbarkeit weiter zu erhöhen.
Ein besserer Ansatz für vertikale Bewegung
Der vertikale Lift-Ansatz bietet eine Alternative zu den traditionellen Z-Ebenen-orientierten Tischen. Die Tische der AVS1000-Serie bieten nicht nur ein niedrigeres Profil, sondern die Last kann auch von jeder Seite aus leicht erreicht werden. Und durch die Zentrierung der Nutzlast über den Lagern gibt es keine Auskragungseffekte.
Motor und Antriebe
Die AVS1000-Serie enthält Aerotechs leistungsstarken bürstenlosen, nutenlosen Servomotor der BMS-Serie mit NEMA 34-Rahmengröße. Der nutenlose Motor ist rastmomentfrei und daher für Anwendungen optimiert, die eine sehr gleichmäßige Bewegung erfordern.
Aerotech fertigt für die AVS1000-Serie bürstenlose, nutenlose Servomotoren.
Aerotech stellt eine breite Palette von passenden Antrieben und Steuerungen her, um eine vollständig integrierte und optimierte Bewegungslösung zu bieten.
Dimensions
AVS1000
Ordering Information
AVS100 Mechanical-Bearing Ball-Screw Lift Stage
Travel (Required)
| Option | Description |
| -05 | 5 mm travel |
- Custom travels available; consult Aerotech for more information.
Motor (Option)
| Option | Description |
| -M1 | BMS280 brushless servomotor and 1000-line TTL encoder |
| -M2 | BMS280 brushless servomotor and 1000-line TTL encoder with brake |
| -M3 | BMS280 brushless servomotor and 1000-line 1 Vpp encoder |
| -M4 | BMS280 brushless servomotor and 1000-line 1 Vpp encoder with brake |
Limits (Required)
| Option | Descriptioin |
| -Ll1 | Normally-closed limit switches, 9-pin D connector |
| -Ll2 | Normally-closed limited switches, fly leads |
| -Ll3 | Normally-open limit switches, 9-pin D connector |
| -Ll4 | Normally-open limit switches, flying leads |
Metrology (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
| -PL2 | Metrology calibrated (HALAR) with performance plots |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |