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Gestaltungsmerkmale

  • Kompakte 50 mm Breite mit Verfahrweg bis 50 mm
  • Präzisionsgeschliffener Kugelgewinde- oder Leitspindelantrieb
  • DC-Servo oder Schrittmotor
  • Kreuzrollenlager
  • Hohe Auflösung (0,1 µm), Wiederholbarkeit (±0,75 µm) und Genauigkeit (±1,5 µm)
  • Hochvakuumfähig
  • Kompakte Mehrachsenkonfigurationen

Hochgenauigkeit

Der präzisionsgeschliffene Kugelgewindetrieb oder die Leitspindel bietet eine außergewöhnliche Genauigkeit, Wiederholbarkeit und eine ultrafeine Positionierauflösung von bis zu 0,1 Mikrometer. Der DC-Servomotor ist mit einem Drehgeber ausgestattet. Die Kreuzrollen-Linearlager sorgen für einen reibungslosen Verfahrweg und hervorragende Nutzlasteigenschaften.

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Optionale Vakuumvorbereitung

Der MPS50SL ist optional mit einer Vakuumvorbereitung bis 10-6 Torr erhältlich. Er ist die perfekte Wahl für die heutigen anspruchsvollen Vakuumanwendungen in Märkten wie Halbleiterfertigung und -inspektion, Optikfertigung und Militär/Luftfahrt.

Hochgradig konfigurierbar

Eine optionale Breadboard-Montageplatte ermöglicht die direkte Montage auf englischen und metrischen Breadboards. Jedes der Modelle kann in einer XY-Konfiguration und, mit dem rechtwinkligen L-Winkel, in XYZ-Konfigurationen montiert werden. Es kann auch direkt an den größeren MPS75SL-Tisch montiert werden.

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Der MPS50SL ist ein Mitglied der MPS (Miniature Positioning Stage)-Familie von Linear-, Dreh-, Goniometer- und vertikalen Hub- und Z-Tischen. Zwei oder mehr Tische können mit Hilfe von standardisierten Montagemustern und Adapterplatten einfach in zahlreichen Kombinationen zusammen montiert werden.

Dimensions

MPS50SL



MPS50SL Mounting Plates



MPS50SL HDZ Bracket



Ordering Information

MPS50SL Miniature Mechanical-Bearing Screw-Driven Linear Stage

Option Description

Travel (Required)

Option Description
-025 25 mm travel stage
-050 50 mm travel stage

Drive Screw (Required)

Option Description
-BS Precision-ground ball screw, 1 mm/rev
-LSPrecision-ground lead screw, 0.5 mm/rev

Vacuum Preparation (Optional)

Option Description
-HVHigh vacuum preparation to 10-6 Torr

Motor (Required)

Option Description
-M1 DC servomotor
-M2Stepper motor

Mounting Plate (Optional)

Option Description
-MP Optical table mounting plate

Metrology (Required)

Option Description
-PL0 No metrology performance plots
-PL1 Metrology, uncalibrated with performance plots
-PL2 Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots

Integration (Required)

Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.

Option Description
-TAS Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration.
-TAC Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system.

Accessories (to be ordered as separate line item)

Option Description
HDZ-MPS50SL Right angle bracket, MPS50SL
HDZ-MPS50SL-HV Right angle bracket, MPS50SL, high vacuum preparation to 10-6 Torr

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