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Design-Merkmale

  • Verbessertes Design der zweiten Generation
  • Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 0,5 nm -NEU
  • Optimiert Orthogonalität, Geradheit und Ebenheit mit integriertem XY-Design
  • Garantiert eine zweidimensionale Genauigkeit von ±225 nm oder besser mit der ULTRA-Kalibrierungsoption
  • Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und große Belastbarkeit
  • Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor

Hauptanwendungen

Der ANT130XY ist ideal für mehrachsige Anwendungen, die eine hohe Präzision und dynamische Positionierleistung erfordern, z. B:

  • Montage und Inspektion in der Photonik
  • Faserausrichtung und -optimierung
  • Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
  • Sensorprüfung und -qualifizierung
  • Halbleiterverarbeitung und -inspektion
  • Oberflächenmetrologie und Profilometrie
  • Forschung & Laboranwendungen

Ultra-präzises Tischdesign

Das integrierte Zwei-Achsen-Design des ANT130XY ermöglicht die Optimierung kritischer geometrischer Elemente wie Orthogonalität, Geradheit und Ebenheit, was zu einem Tisch mit außergewöhnlichen Bewegungseigenschaften führt. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht präzise und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich sowohl in der X- als auch in der Y-Dimension. ANT130XY ist in drei Verfahrwegen von 60 mm x 60 mm bis 160 mm x 160 mm erhältlich, alle mit einer kompakten Gesamthöhe von 85 mm.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT130XY-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. In Verbindung mit Anti-Kriech-Kreuzrollenlagern liefert der ANT130XY eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften, die Ihre Prozessfähigkeit verbessern. Die optimierte Antriebs- und Lagerkombination, die in einem kompakten Formfaktor verpackt ist, bietet deutliche Leistungsvorteile in vielen Anwendungen wie hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensorprüfung und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Flexibles Systemdesign

Die ANT130XY-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. ANT130XY-Tische lassen sich leicht mit anderen Produkten kombinieren - einschließlich ANT130LZ, ANT130R, ANT130V, ANT20G und anderen - um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu ermöglichen.

ULTRA Performance Grade Option

Um die höchstmögliche Systemgenauigkeit unserer mehrachsigen Nanopositioniersysteme zu erreichen, haben wir ein fortschrittliches, dynamisches Bahnkalibrierungssystem entwickelt. Um die Vorteile dieses ausgeklügelten Kalibrierungssystems nutzen zu können, wird das mechanische System in unseren erstklassigen Messlabors komplett zusammengebaut, funktional getestet und kalibriert. Die Systemgenauigkeit auf Nanometerebene kann nur unter strengen Umgebungsbedingungen erreicht werden, die eine Kalibrierung mit den besten Prüfgeräten, unter Verwendung der hochpräzisen mechanischen Elemente und der ULTRA-Softwarefunktionen unserer branchenführenden Steuerungen gewährleisten. Durch die Implementierung der dynamischen ULTRA-Bahnkalibrierung mit dem ANT130XY sind wir in der Lage, garantierte zweidimensionale Genauigkeiten von ±225 nm oder besser zu erreichen.

Die Diagramme in den technischen Daten veranschaulichen die Leistungsunterschiede zwischen einem Standard ANT130XY und der ULTRA-Version. Die ULTRA-Kalibrierung eliminiert praktisch Geradheits-, Orthogonalitäts- und Genauigkeitsfehler, die durch Gieren entstehen.

Dimensions

ANT130XY



Mounting Plate



CMS Post



Ordering Information

ANT130XY Two-Axis XY Nanopositioning Stage

Travel (Required)

Option Description
-060 60 mm x 60 mm travel
-110 110 mm x 110 mm travel
-160 160 mm x 160 mm travel

Feedback (Required)

Option Description
-E1 Incremental linear encoders, 1 Vpp amplified sine output
-E2 Incremental linear encoders, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution
-E4 Incremental linear encoders, 1 Vpp amplified sine output, high-performance

Connectors (Required)

Option Description
-CN1 Single 25-pin D connector, 25DU
-CN2 Two connector, 4-pin HPD and 25-pin D, 4DU-25DU
Note:
  1. The -CN1 option is limited to a maximum bus voltage of 80 V. The -CN2 option is required for higher bus voltages.

Cable Management (Required)

Option Description
-CMS2 Post for two-axis cable support
-CMS3 Post for three-axis cable support

Mounting Plate (Optional)

Option Description
-MP Mounting plate

Performance Grade (Required)

Option Description
-PL1 Base performance
-PL3 High-accuracy performance, PLUS
-PL4 Ultra high-accuracy performance, ULTRA

Integration (Required)

Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.

Option Description
-TAS Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration.
-TAC Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system.

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