ATS3600 Mechanisch gelagerter, schraubengetriebener Lineartisch mit Apertur
Der ATS3600 ist ein hochpräziser, robuster Open-Frame-Tisch. Dieser zweiachsige Open-Frame-Tisch mit großer Apertur erfüllt die besonderen Anforderungen der Rastermikroskopie, der Wafer- und Leiterplatteninspektion sowie der automatisierten Montage.
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Design-Merkmale
- Große, klare Blendenöffnung
- Verfahrbereich von 100 mm x 100 mm bis 400 mm x 400 mm
- Leistungsstarke lineare Bewegungsführungen
- 15 Bogensekunden Orthogonalität
- Berührungsloser linearer Encoder für hohe Genauigkeit
Design und Konstruktion
Im Gegensatz zu anderen Konstruktionen, die aus mehreren Einzelteilen zusammengesetzt sind, besteht das ATS3600 aus drei Teilen. Dadurch können kritische Komponenten wie Orthogonalität, Geradheit und Ebenheit während der Erstbearbeitung kontrolliert werden, was zu einem Tisch mit außergewöhnlichen geometrischen Toleranzen und inhärenter Orthogonalität führt.
Das ATS3600 verwendet hochpräzise Linearführungslager (LMG) mit insgesamt vier Wagen pro Achse. Dadurch ist das ATS3600 ideal für schnelle, sich wiederholende Vorgänge. Die LMG-Lager zeichnen sich außerdem durch außergewöhnliche Steifigkeit, hohe Belastbarkeit und extrem geringe Reibung aus.
Die hohe Steifigkeit dieses Tisches ermöglicht es, ihn seitlich anzutreiben und dennoch hervorragende Leistungsmerkmale beizubehalten. Der ATS3600 stellt eine erhebliche Leistungssteigerung gegenüber typischen seitlich angetriebenen Tischen dar.
Motoren und Antriebe
Das ATS3600 umfasst zwei bürstenlose, nutenlose Hochleistungsmotoren der Serie NEMA 23 BMS und einen SM60-Schrittmotor. Dieser Motor bietet alle Vorteile eines bürstenlosen Motors - hohe Beschleunigung, kein Bürstenverschleiß und geringere Erwärmung - und ist gleichzeitig rastmomentfrei, was eine besonders gleichmäßige Bewegung ermöglicht.
Optionales lineares Encoder-Feedback
Ein hochauflösender, berührungsloser linearer Encoder ist als Option erhältlich. Dieser berührungslose Encoder bietet eine außergewöhnliche Wiederholbarkeit und Stabilität über eine Reihe von Betriebsbedingungen. Es sind sowohl digitale als auch analoge Ausgangsversionen verfügbar. Die digitale Version hat eine Auflösung von 0,1µm, während die analoge Version gekoppelt werden kann, um Auflösungen im µm-Bereich zu erreichen.
Alternative Konfigurationen
Alle Verfahrwege bieten sowohl ein- als auch zweiachsige Ausführungen sowie die Option für eine stabile Tischplatte.
Dimensions
ATS3600
Ordering Information
ATS3600 Series Mechanical-Bearing Screw-Driven Linear Stage with Aperture
| Option | Description |
| ATS3600-100XY | ATS3600-100XY mechanical-bearing screw-driven linear stage with aperture, 100 x 100 mm travel |
| ATS3600-200XY | ATS3600-200XY mechanical-bearing screw-driven linear stage with aperture, 200 x 200 mm travel |
| ATS3600-300XY | ATS3600-300XY mechanical-bearing screw-driven linear stage with aperture, 300 x 300 mm travel |
| ATS3600-400XY | ATS3600-400XY mechanical-bearing screw-driven linear stage with aperture, 400 x 400 mm travel |
Motor (Optional)
| Option | Description |
| -M1 | BMS60 brushless servomotor with 2500-line TTL encoder |
| -M2 | BMS60 brushless servomotor with 1000-line 1 Vpp encoder |
| -M3 | SM60 stepper motor |
Limits (Required)
| Option | Description |
| -LI1 | Normally-closed limit switches, 9-pin D connector |
| -LI2 | Normally-closed limit switches, flying leads |
| -LI3 | Normally-open limit switches, 9-pin D connector |
| -LI4 | Normally-open limit switches, flying leads |
Direct Linear Feedback (Optional)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp |
| -E2 | Incremental linear encoder, 0.1 μm digital TTL output |
Coupling (Optional)
| Option | Description |
| -CP1 | Coupling for 0.250 inch diameter shaft |
| -CP2 | Coupling for 0.375 inch diameter shaft |
Metrology (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
| -PL2 | Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots |
Integration
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |