WaferMaxZ Mechanisch gelagerter Hubtisch mit Direktantrieb
Unser WaferMaxZ Hubtisch stellt einen bedeutenden Durchbruch bei der vertikalen Ausrichtung von hochpräzisen Komponenten in einem kompakten Gehäuse dar. Sein überlegener berührungsloser Linearmotorantrieb verwendet einen hochpräzisen Encoder für eine direkte Positionsrückmeldung und bietet neben hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit auch eine Auflösung im Sub-Nanometerbereich. WaferMaxZ lässt sich nahtlos mit WaferMaxT integrieren.
Description
Specifications
Dimensions
Ordering Info
Downloads
Description
Description
Specifications
Dimensions
Ordering Info
Downloads
Description
Gestaltungsmerkmale
- Niedriges Profil für platzbewusste Anwendungen
- Kontaktloser Direktantrieb
- Hohe Wiederholgenauigkeit
- Integraler pneumatischer Gewichtsausgleich
- Einfache Konfiguration mit WaferMaxT für Mehrachsanwendungen
Überlegene mechanische Konstruktion
Die Lagerelemente sind in Form von Kreuzrollen ausgeführt und bieten maximale Laufruhe und Zuverlässigkeit. Sie sind auf einer optimierten Basis- und Keilbaugruppe montiert, die für Steifigkeit und geringe Masse/Trägheit sorgt und so die dynamische Leistung verbessert.
Alle kritischen Elemente des WaferMaxZ wurden so ausgewählt, dass sie in einer industriellen Umgebung rund um die Uhr funktionieren. Im Gegensatz zu schrauben- oder piezobasierten Vertikaltischen erfordert der WaferMaxZ keine Wartung und gewährleistet einen jahrelangen störungsfreien Betrieb.
Bürstenloser Direktantrieb
Um die Positionierleistung zu maximieren, verwendet der WaferMaxZ den bürstenlosen, nutenlosen Linearmotor der BLMUC-Serie von Aerotech. Dieser Motor hat alle Vorteile eines bürstenlosen Direktantriebsmotors - keine Bürsten, die verschleißen, kein Getriebe, das gewartet werden muss, und hohe Beschleunigung und hohe Geschwindigkeiten. Da es sich um ein nutenloses, eisenloses Design handelt, gibt es kein Cogging, was bedeutet, dass es absolut keine Drehmomentwelligkeit gibt. Das macht den WaferMaxZ ideal für konturierte Bewegungen, gleichmäßige Scangeschwindigkeiten oder präzise Inkrementalschritte.
Genaue Positionierung
Die Leistung wird durch einen Präzisionslinear-Encoder mit einer Auflösung von 0,8 nm sichergestellt. Der Motor und das Hochleistungs-Längenmessgerät sind direkt gekoppelt, um die Genauigkeit zu erhöhen.
Flexible Konfigurationen
Aerotech stellt eine breite Palette von Servoverstärkern und fortschrittlichen Controllern her, um ein komplettes, integriertes Paket anzubieten.
Dimensions
WaferMaxZ
Ordering Information
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |