WaferMaxT Mechanisch gelagerter, direkt angetriebener Drehtisch
Unser WaferMaxT-Drehtisch ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen, die hohe Leistung in einem Gehäuse mit geringer Bauhöhe erfordern. Eine Standardöffnung von 25 mm ermöglicht das einfache Durchführen von Vakuumleitungen, wenn eine begrenzte Rotation erforderlich ist. Wenn eine kontinuierliche Rotation erforderlich ist, kann eine optionale Drehdurchführung mit einem oder zwei Anschlüssen eingebaut werden. Die Tischplatte enthält ein Standard-Montagemuster, das eine einfache Wafer-Chuck-Montage ermöglicht. Der WaferMaxT ist so konzipiert, dass er sich nahtlos in den WaferMaxZ integrieren lässt.
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Gestaltungsmerkmale
- Niedriges Profil für platzsparende Anwendungen
- Direkt angetriebener, bürstenloser, nutenloser Servomotor
- Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
- 25-mm-Öffnung
- Optionale Drehdurchführung für Vakuum
Ursprünglich für die Anforderungen der Präzisions-Waferinspektion entwickelt, wurde der WaferMaxT für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt.
Überlegene mechanische Konstruktion
Schrägkugellager werden eingesetzt, um die Leistung in Bezug auf Taumel, Momentensteifigkeit und Drehreibung zu maximieren. Eine dickwandige, präzisionsgeschliffene Welle minimiert das Taumeln zusätzlich.
Das Kabelmanagement ist ein Kinderspiel mit integrierten Motorstrom- und Feedback-Anschlüssen. Da der WaferMaxT eine in sich geschlossene Einheit ist, kann er leicht in mehrstufige Stacks integriert werden. Für eine äußerst zuverlässige Lösung kann entweder eine Serviceschleife oder ein integriertes Aerotech-Kabelmanagementsystem (CMS) vorgesehen werden.
Bürstenloser Direkt-Antrieb
Um die Positionierleistung zu maximieren, verwendet der WaferMaxT den bürstenlosen, nutenlosen Motor der S-Serie von Aerotech. Dieser Motor hat alle Vorteile eines bürstenlosen Direktantriebsmotors - keine Bürsten, die verschleißen, kein Getriebe, das gewartet werden muss, und hohe Beschleunigung und hohe Geschwindigkeiten. Da es sich um ein nutenloses, eisenloses Design handelt, gibt es kein Cogging, was bedeutet, dass es absolut keine Drehmomentwelligkeit gibt. Dies macht den WaferMaxT ideal für Anwendungen, die eine hervorragende konturierte Bewegung, eine gleichmäßige Scangeschwindigkeit oder präzise Inkrementalschritte erfordern. Die geringe Trägheit und Spielfreiheit machen den WaferMaxT zur idealen Lösung für Anwendungen, die häufige Richtungswechsel erfordern.
Genaue Positionierung
Die Leistung wird durch einen Encoder mit 10.000 Linien pro Umdrehung gewährleistet, der eine Auflösung von 0,065 Bogensekunden erreicht. Eine Option mit 2048 Strichen ist ebenfalls erhältlich. Der Motor und der Hochleistungs-Drehgeber sind direkt an eine gemeinsame Welle gekoppelt.
>Flexible Konfigurationen
Aerotech stellt eine breite Palette von Servoverstärkern und fortschrittlichen Steuerungen her, um ein komplettes, integriertes Paket anzubieten.
Dimensions
WaferMaxT
Ordering Information
WaferMaxT Direct-Drive Rotary Stage with 25 mm Clear Aperture
| Option | Description |
Feedback
| Option | Description |
| -E1 | Incremental encoder, 2048 lines/rev, 1 Vpp |
| -E2 | Incremental encoder, 10000 lines/rev, 1 Vpp |
WaferMaxT Options
| Option | Description |
| -RU1 | Single-port rotary union for air/vac feed-through |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |