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Path 7

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Gestaltungsmerkmale

  • Kompakter, leistungsstarker Elevationstisch
  • Präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindel oder Leitspindel
  • Optionen mit Gleichstrom- oder Schrittmotor
  • Hochvakuumfähig
  • Präzisions-Kreuzrollenlager
  • Mehrachsige Konfigurationen mit MPS-Linear- und Drehtischen verfügbar

Hochpräzise Konstruktion

Alle MPS-SV-Tische sind mit einer präzisionsgeschliffenen Kugelumlaufspindel und vorgespannten Kreuzrollenlagern ausgestattet, die eine gleichmäßige und präzise geometrische Leistung, außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine minimale inkrementale Bewegungsmöglichkeit von 0,05 µm bieten. Die MPS50SV wird auch mit einer Spindelantriebsoption für kostensensitive Anwendungen angeboten.

MPS-SV-Motoroptionen umfassen einen DC-Servomotor mit Drehgeber und einen Schrittmotor. Eine präzisionsgefertigte Keilkonstruktion und ein seitliches Zwangssystem sorgen für hohe Steifigkeit und Belastbarkeit bei gleichzeitiger Begrenzung der seitlichen Bewegungen.

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Vakuum und Montageoptionen

Wie alle Tische der MPS-Serie sind auch die MPS-SV-Tische optional mit einer Vakuumvorbereitung bis 10-6 Torr erhältlich, die einen vakuumtauglichen Anschluss beinhaltet. Eine optionale Montageplatte ermöglicht die direkte Montage auf englischen und metrischen optischen Breadboard-Tischen. Die inhärente Montagekompatibilität aller MPS-Tische ermöglicht eine einfache Montage in Mehrachsanordnungen.

Dimensions

MPS50SV



MPS75SV



MPS50SV Mounting Plate



MPS75SV Mounting Plate



Ordering Information

MPS-SV Series Mechanical-Bearing Screw-Driven Lift Stage

Option Description
MPS50SV-5 MPS50SV-5 miniature mechanical-bearing screw-driven lift stage, 5 mm travel
MPS75SV-5 MPS75SV-5 miniature mechanical-bearing screw-driven lift stage, 5 mm travel

Drive Screw (Required - MPS50SV-5 ONLY)

Option Description
-BS Precision-ground ball screw, 1 mm/rev
-LS Precision-ground lead screw, 0.5 mm/rev
Note:
  1. -LS Lead screw option is valid only on MPS50SV-5.

Vacuum Preparation (Optional)

Option Description
-HV High vacuum preparation to 10-6 Torr

Motor (Required)

Option Description
-M1 DC Servomotor
-M2 Stepper motor

Mounting Plate (Optional)

Option Description
-MP Optical table mounting plate

Metrology (Required)

Option Description
-PL0 No metrology performance plots
-PL1 Metrology, uncalibrated with performance plots
-PL2 Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots

Integration (Required)

Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.

Option Description
-TAS Integration - Test as system
 
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration.
-TAC Integration - Test as components
 
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system.

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