ABRT Luftgelagerter, direkt angetriebener Drehtisch
Unsere luftgelagerten Drehtische der ABRT-Serie bieten eine überragende Winkelpositionierung, Geschwindigkeitsstabilität und Fehlerbewegungsleistung zusammen mit einer beeindruckenden Nutzlastkapazität und einer hervorragenden radialen und axialen Steifigkeit. Der ABRT wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der Waferinspektion, hochpräzisen Metrologieanwendungen, Röntgenbeugungssysteme, optischen Inspektion und Fertigung sowie der Herstellung von MEMS/Nanotechnologie-Bauteilen zu erfüllen.
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Gestaltungsmerkmale
- Direkt angetriebener, nutenloser, bürstenloser Servomotor mit hohem Drehmoment
- Zero-cogging-Motor für hervorragende Geschwindigkeitsstabilität
- Hervorragende Fehlerbewegungs- und Taumelperformance
- Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
- Großer Durchmesser der Lichtaustrittsöffnung
- Kein mechanischer Kontakt
Überlegene mechanische Konstruktion
Die ABRT-Konstruktion zeichnet sich durch große luftgelagerte Flächen und innovative Vorspannung für hohe Steifigkeit und Belastbarkeit aus, wodurch nicht nur exzellente Axial- und Radialfehlerbewegungen, sondern auch hervorragende Kippfehlerbewegungen erzielt werden. Die daraus resultierende Leistung ist deutlich besser als bei anderen luftgelagerten Drehtischen und Spindeln, was für Anwendungen, die eine außergewöhnliche planare Leistung erfordern, von großem Vorteil ist. Darüber hinaus bietet diese Tischfamilie eine freie Öffnung, die für Produktdurchführung, Laserstrahlzuführung, Kabeldurchlass oder anwendungsspezifische Anforderungen genutzt werden kann.
Bürstenloser Direkt-Antrieb
Um die Positionierleistung zu maximieren, verwendet die ABRT-Serie optimierte Versionen des nutenlosen, bürstenlosen Motors der S-Serie von Aerotech. Der Motor verwendet ein fortschrittliches Magnetkreisdesign, um ein hohes Drehmoment bei minimaler Wärmeentwicklung zu erzeugen. Das nutenlose Design ist inhärent rastmomentfrei und drehmomentstabil. Das macht ABRT-Tische ideal für Anwendungen, die gleichmäßige Scangeschwindigkeiten bei niedrigen oder hohen Geschwindigkeiten erfordern.
>Genaue Positionierung
Ein optischer Encoder gehört zur Standardausstattung des ABRT. In Verbindung mit den Feedback-Multiplikatoren und Steuerungen von Aerotech sind Auflösungen von <0,03 Bogensekunden erreichbar.
Kundenspezifische Ausführungen
Kundenspezifische Versionen des ABRT sind erhältlich, um Anwendungen mit Rate Table und hochpräzisen Trägheitsführungsprüfständen zu erfüllen. Weitere Funktionen wie Schleifringe und Drehdurchführungen sind verfügbar.
Flexible Konfigurationen
Aerotech stellt eine breite Palette von Servoverstärkern und fortschrittlichen Steuerungen her, um ein komplettes, integriertes Paket anzubieten.
Dimensions
ABRT150
ABRT200
ABRT260
Ordering Information
ABRT Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage
| Option | Description |
| ABRT150 | 150 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
| ABRT200 | 200 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
| ABRT260 | 260 mm wide air-bearing direct-drive rotary stage |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental encoder, 1 Vpp |
| -E2 | Incremental encoder, TTL, x50 interpolation |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system
Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (To Be Ordered As Separate Line Item)
| Option | Description |
| -ABF | Air-bearing filtration kit |