ATS3600 Mechanisch gelagerter, schraubengetriebener Lineartisch mit Apertur
Der ATS3600 ist ein hochpräziser, robuster Open-Frame-Tisch. Dieser zweiachsige Open-Frame-Tisch mit großer Apertur erfüllt die besonderen Anforderungen der Rastermikroskopie, der Wafer- und Leiterplatteninspektion sowie der automatisierten Montage.
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Design-Merkmale
- Verbessertes Design der zweiten Generation
- Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 0,5 nm - NEU
- Positionierleistung auf Nanometer-Niveau bei Verfahrwegen von bis zu 100 mm
- Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und hohe Belastbarkeit
- Optimiert den Prozessdurchsatz und maximiert die Zuverlässigkeit durch einen eisenlosen Linearmotor mit Direktantrieb
- Lässt sich leicht in Mehrachs-Baugruppen und Bewegungs-Subsysteme integrieren
Hauptanwendungen
Die ANT95L-Tische sind ideal für hochpräzise und hochdynamische Positionierungsanwendungen, einschließlich
- Montage und Inspektion in der Photonik
- Faserausrichtung und -optimierung
- Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
- Sensorprüfung und -qualifizierung
- Halbleiterverarbeitung und -inspektion
- Forschung & Laboranwendungen
Branchenführende Bewegungsleistung
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine extrem feine Systemauflösung. Der ANT95L ist jetzt mit einer verbesserten Hochleistungs-Encoder-Option erhältlich und kann problemlos minimale Inkrementalschritte von 0,5 nm erreichen. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich.
Berührungsloser Direktantrieb
Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT95L-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. Diese Direktantriebstechnologie sorgt für eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften zur Optimierung Ihres Prozessdurchsatzes. Die einzigartige Antriebs- und Lagerkombination, die in einem extrem kompakten Formfaktor untergebracht ist, bietet greifbare Vorteile für viele Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensortests und Scanprozesse, die gleichmäßige und präzise Bewegungen erfordern.
Flexibles Systemdesign
Die ANT95L-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können für flexible Systemdesigns und Mehrachsenkonfigurationen einfach kombiniert werden. Die ANT95L-Tische sind auch in einer integrierten XY-Anordnung erhältlich und lassen sich leicht mit anderen Produkten wie ANT95LZ, ANT95LZS, ANT95R, ANT95V, ANT20G und anderen kombinieren, um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu realisieren.
Dimensions
ANT95L-025
ANT95L-050
ANT95L-100
Ordering Information
Travel (Required)
| Option | Description |
| -025 | 25 mm travel |
| -050 | 50 mm travel |
| -100 | 100 mm travel |
- Other travel options are available upon request. Contact Aerotech for more information.
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
| -E2 | Incremental linear encoder, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution |
| -E3 | Absolute + Incremental 1 Vpp linear dual-track encoder |
| -E4 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output, high-performance |
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP | Mounting plate |
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base performance |
| -PL2 | High-accuracy performance, PLUS |
Integration (Required)
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
- Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.