ANT95V-3 Einachsiger, direkt angetriebener Nanopositioniertisch
Der ANT95V-3 ist ein linearmotorgetriebener, keilförmiger vertikaler Hubtisch. Er kann leicht mit anderen Tischen, einschließlich denen der ANT95-Familie, integriert werden, um eine überlegene Mehrachsenleistung zu erzielen, und wird in zwei Genauigkeitsstufen angeboten.
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Gestaltungsmerkmale
- Nanometerleistung mit 3 mm vertikalem Verfahrweg
- Hohe Auflösung (1 nm), Wiederholbarkeit (100 nm) und Genauigkeit (200 nm)
- In-Position-Stabilität von <1 nm
- Kreuzrollenlager mit Anti-Kriechfunktion
- Hohe dynamische Leistung
Kontaktloser Direktantrieb
Alle Vorteile des Direktantriebs der ursprünglichen ANT-Serie sind in der ANT95V-3-Familie erhalten geblieben. Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. Die ANT95V-3-Tische nutzen die fortschrittliche Direktantriebstechnologie, die von Aerotech entwickelt wurde, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erreichen. Diese Direktantriebstechnologie ist hochleistungsfähig, rastfrei, berührungslos, schnell, hochauflösend und hochpräzise. Diese einzigartige Antriebs- und Lagerkombination, verpackt in einem extrem kleinen Profil und einer kleinen Grundfläche, bietet greifbare Vorteile in vielen Anwendungen, wie z.B. hochpräzise Positionierung, Herstellung von Plattenlaufwerken, Faserausrichtung, Betätigung von optischen Verzögerungselementen, Sensortests und Scanprozessen, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.
Flexibler Systemaufbau
Die ANT95V-3-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können einfach für flexible Systemdesigns und Mehrachskonfigurationen kombiniert werden.
Systemeigenschaften
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und In-Position-Stabilität erfordern eine hohe Systemauflösung. Die branchenführende minimale inkrementelle Schrittweite des ANT95V-3-Tisches von 1 nm bietet diese hohe Leistung. Die exzellente Positionsstabilität wird durch hochwertige, kriechfreie Kreuzrollenlager unterstützt. Der Versteller bietet einen praktisch wartungsfreien Betrieb über die gesamte Lebensdauer des Produkts. Die Direktantriebstechnologie von Aerotech ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht eine genaue und wiederholbare Bewegung im Nanometerbereich.
Dimensions
ANT95V-3
Ordering Information
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP | Mounting Plate |
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base Performance |
| -PL2 | High-Accuracy Performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components
Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |