ANT95XY Zweiachsige XY-Nanopositionierungstische

Description

Design-Merkmale

• Verbessertes Design der zweiten Generation
• Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 0,5 nm -NEU
• Optimiert Orthogonalität, Geradheit und Ebenheit mit integriertem XY-Design
• Garantiert eine zweidimensionale Genauigkeit von ±250 nm oder besser mit der ULTRA-Kalibrierungsoption
• Verfügt über hochpräzise Kreuzrollenlager für hervorragende dynamische Leistung und hohe Belastbarkeit
• Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor

Hauptanwendungen

Der ANT95XY ist ideal für mehrachsige Anwendungen, die eine hochpräzise und dynamische Positionierleistung erfordern, z. B:

• Montage und Inspektion in der Photonik
• Faserausrichtung und -optimierung
• Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
• Sensorprüfung und -qualifizierung
• Halbleiterverarbeitung und -inspektion
• Forschung & Laboranwendungen

Ultra-präzises Tischdesign

Das integrierte Zwei-Achsen-Design des ANT95XY ermöglicht die Optimierung kritischer geometrischer Elemente wie Orthogonalität, Geradheit und Ebenheit, was zu einem Tisch mit außergewöhnlichen Bewegungseigenschaften führt. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht präzise und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich sowohl in der X- als auch in der Y-Dimension. Beide Verfahrwege (25 mm x 25 mm und 50 mm x 50 mm) werden mit einer Profilhöhe von 60 mm geliefert. Das integrierte Kabelmanagementsystem ist auf eine lange Lebensdauer und minimale Widerstandskräfte ausgelegt.

Berührungsloser Direktantrieb

Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT95XY-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. Diese Direktantriebstechnologie sorgt für eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften zur Optimierung Ihres Prozessdurchsatzes. Die einzigartige Antriebs- und Lagerkombination, die in einem extrem kompakten Formfaktor untergebracht ist, bietet greifbare Vorteile in vielen Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensortests und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.

Flexibles Systemdesign

Die ANT95XY-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischmodelle, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. ANT95XY-Tische lassen sich leicht mit anderen Produkten kombinieren - einschließlich ANT95LZ, ANT95LZS, ANT95R, ANT95V, ANT20G und anderen - um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu realisieren.

ULTRA Performance Grade Option

Um die höchstmögliche Systemgenauigkeit unserer mehrachsigen Nanopositioniersysteme zu erreichen, haben wir ein fortschrittliches, dynamisches Bahnkalibrierungssystem entwickelt. Um die Vorteile dieses ausgeklügelten Kalibrierungssystems nutzen zu können, wird das mechanische System in unseren erstklassigen Messlabors vollständig zusammengebaut, auf seine Funktion geprüft und kalibriert. Die Systemgenauigkeit auf Nanometerebene kann nur unter strengen Umgebungsbedingungen erreicht werden, die eine Kalibrierung mit den besten Prüfgeräten, unter Verwendung der hochpräzisen mechanischen Elemente und der ULTRA-Softwarefunktionen unserer branchenführenden Steuerungen gewährleisten. Durch die Implementierung der dynamischen ULTRA-Bahnkalibrierung mit dem ANT95XY sind wir in der Lage, garantierte zweidimensionale Genauigkeiten von ±250 nm oder besser zu erreichen.

Die Diagramme in den technischen Daten veranschaulichen die Leistungsunterschiede zwischen einem Standard ANT95XY und der ULTRA-Version. Durch die ULTRA-Kalibrierung werden Geradheits-, Orthogonalitäts- und Genauigkeitsfehler, die durch Gieren entstehen, praktisch eliminiert.