ATS100 Mechanisch gelagerter, spindelgetriebener Lineartisch
Die kugelgelagerten Lineartische der Serie ATS100 bieten die hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit, die für das Testen und die Herstellung von Halbleiter-Wafern, automatische Mikroskop-Inspektionssysteme und Präzisions-Mikrobearbeitungsanwendungen erforderlich sind.
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Gestaltungsmerkmale
- Langlebiges Linearbewegungs-Führungslagersystem
- Ultrafeine Auflösung
- Integrale Faltenbalg-Wegabdeckungen
- Kompakte, flache Bauweise
- Einschließlich bürstenlosem, nutenlosem Motor
Hervorragende Konstruktionsmerkmale
Die Tische der Serie ATS100 sind aus einer speziellen Aluminium-Gusslegierung gefertigt, um ein hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht und Langzeitstabilität zu gewährleisten. Die Basis ist eine Box-Konstruktion, die außergewöhnliche Steifigkeit und Stabilität bietet.
>Die Tische der Serie ATS100 verfügen über eine präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindel, die vorgespannt ist, um Spiel zu eliminieren, und deren Mutter mit Abstreifern versehen ist, um Verunreinigungen zu verhindern und eine hohe Genauigkeit während der gesamten Lebensdauer des Tisches zu gewährleisten. Hochwertige, vorgespannte Duplexlager werden verwendet, um axiales Spiel zu eliminieren.
Alle Tische der ATS100-Serie sind mit Linear Motion Guide (LMG)-Lagern ausgestattet, die eine hohe Belastbarkeit und Steifigkeit gewährleisten. Die LMG-Konstruktion bietet einen kompakten Tisch mit kontinuierlicher Schlittenabstützung über den gesamten Verfahrweg und guter Auskragungsfähigkeit. Integrierte Abstreifer an den Lagerwagen sorgen für eine lange Lebensdauer des Verstellers. Hochpräzise optische Endschalter und Endanschläge sind ebenfalls Standard.
>Integrierte Faltenbalgabdeckungen schützen das Antriebs- und Lagersystem vor Verschmutzung. Die Metalloberflächen sind mit einer attraktiven, klaren Eloxierung geschützt. Es sind sowohl metrische (Standard) als auch englische Befestigungs- und Bolzenlochmuster verfügbar.
Hochgenauigkeit
Das ATS100 setzt den Standard für Präzisionsleistung in einem kompakten Gehäuse. Mit der Option -PL2 erreicht der ATS100 eine Genauigkeit im Submikrometerbereich und eine beeindruckende Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm.
Motoren und Antriebe
Im Lieferumfang der Tische der ATS100-Serie sind die bürstenlosen Rotationsmotoren der BMS-Serie von Aerotech enthalten. Dieser Motor hat alle Vorteile eines bürstenlosen Motors - hohe Beschleunigung, keine verschleißenden Bürsten und geringere Erwärmung - und hat dennoch kein Cogging für eine extrem gleichmäßige Bewegung und Genauigkeit. Aerotech stellt eine große Auswahl an passenden Antrieben und Steuerungen her, um eine vollständig integrierte und optimierte Bewegungslösung zu bieten.
Optionen
Zu den Standardoptionen gehören eine rechtwinklige Präzisionshalterung für die Montage mehrerer Achsen und eine Vakuumvorbereitung bis 10-6 Torr.
Dimensions
ATS100
MP100 Mounting Plate
Ordering Information
ATS100 Series Mechanical-Bearing Screw-Driven Linear Stage
| Option | Description |
Travel (Required)
| Option | Description |
| -050 | 50 mm |
| -100 | 100 mm |
| -150 | 150 mm |
| -200 | 200 mm |
Vacuum Preparation (Required)
| Option | Description |
| -HV | High vacuum preparation to 10-6 Torr |
Tabletop (Required)
| Option | Description |
| -TT1 | Tabletop with metric dimension mounting pattern and holes |
| -TT2 | Tabletop with English dimension mounting pattern and holes |
Motor (Optional)
| Option | Description |
| -M1 | BMS60 servomotor w/2500-line TTL encoder |
| -M2 | BMS60 servomotor w/2500-line TTL encoder and holding brake |
| -M3 | BMS60 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder |
| -M4 | BMS60 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder and holding brake |
| -M5 | BM75 servomotor w/2500-line TTL encoder |
| -M6 | BM75 servomotor w/2500-line TTL encoder and holding brake |
| -M7 | BM75 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder |
| -M8 | BM75 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder and holding brake |
| -M9 | SM60 stepper motor, SM60-CN1-VT2 |
| -M10 | SM60 stepper motor w/holding brake, SM60-CN1-VT2-BK |
Foldback (Optional)
| Option | Description |
| -FB1 | Foldback kit for .250 inch diameter shaft NEMA 23 motor |
| -FB2 | Foldback kit w/brake for .250 inch diameter shaft NEMA 23 motor |
Motor Orientation (Optional)
| Option | Description |
| -2 | Bottom cable exit, optional orientation |
| -3 | Left-side cable exit, standard orientation |
| -4 | Top cable exit, optional orientation |
| -5 | Right-side cable exit, optional orientation |
| -8 | Right-side foldback, standard orientation |
| -12 | Left-side foldback, optional orientation |
Limits (Required)
| Option | Description |
| -LI1 | Normally-closed limit switches, 9-pin D connector |
| -LI2 | Normally-closed limit switches; flying leads |
| -LI3 | Normally-open limit switches, 9-pin D connector |
| -LI4 | Normally-open limit switches, flying leads |
Coupling (Optional)
| Option | Description |
| -CP1 | Coupling for 0.250 inch diameter shaft |
| -CP2 | Coupling for 0.375 inch diameter shaft |
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP1 | Mounting plate, metric |
| -MP2 | Mounting plate, English |
Metrology (Optional)
| Option | Description |
| -PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
| -PL2 | Metrology, calibrated (HALAR) with performance plots |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (to be ordered as a separate line item)
| Option | Description |
| ALIGN-NPA | Non-precision XY assembly |
| ALIGN-NPAZ | Non-precision XZ or YZ assembly |
| ALIGN-PA10 | XY assembly; 10 arc sec orthogonality. Alignment to within 7 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA10Z | XZ or YZ assembly with L-bracket; 10 arc second orthogonality. Alignment to within 10 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA5 | XY assembly; 5 arc sec orthogonality. Alignment to within 3 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA5Z | XZ or YZ assembly with L-bracket; 5 arc second orthogonality. Alignment to within 5 microns orthogonality for short travel stages. |
| HDZ1 | English right angle L-bracket; for ATS100-050 and ATS100-100 only |
| HDZ1L | English right angle L-bracket; for ATS100-150 and ATS100-200 only |
| HDZ1M | Metric right angle L-bracket; for ATS100-050 and ATS100-100 only |
| HDZ1LM | Metric right angle L-bracket; for ATS100-150 and ATS100-200 only |