ATS150 Mechanisch gelagerter, spindelgetriebener Lineartisch
Die kugelgelagerten Lineartische der Serie ATS150 bieten die hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit, die für das Testen und die Herstellung von Halbleiterwafern, automatisierte Mikroskop-Inspektionssysteme und Präzisions-Mikrobearbeitungsanwendungen erforderlich sind. Sie können optional mit direkten linearen Encodern für eine verbesserte Präzision konfiguriert werden.
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Gestaltungsmerkmale
- Langlebiges Linearbewegungs-Führungslagersystem
- Ultrafeine Auflösung
- Integrale Faltenbalg-Wegabdeckungen
- Kompakte, flache Bauweise
- Submikrometergenauigkeit
- Optionales hochgenaues Längenmessgerät
Konstruktionsmerkmale
Die Tische der Serie ATS150 sind aus einer speziellen Aluminium-Gusslegierung gefertigt, die ein hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht und Langzeitstabilität bietet. Die Basis ist eine Box-Konstruktion, die außergewöhnliche Steifigkeit und Stabilität bietet.
Die Tische der Serie ATS150 verfügen über eine präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindel, die vorgespannt ist, um Spiel zu eliminieren, und deren Mutter mit Abstreifern versehen ist, um Verunreinigungen zu vermeiden und eine hohe Genauigkeit über die gesamte Lebensdauer des Tisches zu gewährleisten. Die Mutter ist mit Abstreifern versehen, um Verschmutzungen zu vermeiden und eine hohe Genauigkeit über die gesamte Lebensdauer zu gewährleisten.
Alle Tische der ATS150-Serie sind mit Linear Motion Guide (LMG)-Lagern ausgestattet, um eine hohe Belastbarkeit und Steifigkeit zu gewährleisten. Die LMG-Konstruktion bietet einen kompakten Tisch mit kontinuierlicher Schlittenabstützung über den gesamten Verfahrweg und guter Auskragungsfähigkeit. Integrierte Abstreifer an den Lagerwagen sorgen für eine lange Lebensdauer des Verstellers. Hochpräzise optische Endschalter und Endanschläge sind ebenfalls Standard.
>Integrierte Faltenbalgabdeckungen schützen das Antriebs- und Lagersystem vor Verschmutzung. Die Metalloberflächen sind durch eine attraktive, klare Eloxierung geschützt. Es sind sowohl metrische (Standard) als auch englische Montage- und Bolzenlochmuster verfügbar.
Linearer Drehgeber
Ein berührungsloser Präzisions-Linear-Encoder ist optional erhältlich. Der Encoder wird im Inneren des Tisches montiert und ist so vor externen Verunreinigungen und Schmutz geschützt.
Motoren und Antriebe
Im Lieferumfang aller Versteller der ATS150-Serie sind die bürstenlosen Rotationsmotoren der BMS-Serie von Aerotech enthalten. Dieser Motor hat alle Vorteile eines bürstenlosen Motors - hohe Beschleunigung, kein Bürstenverschleiß und geringere Erwärmung - und hat dennoch kein Rastmoment für eine extrem gleichmäßige Bewegung und Genauigkeit. Aerotech stellt eine breite Palette von passenden Antrieben und Steuerungen her, um eine vollständig integrierte und optimierte Bewegungslösung zu bieten.
Dimensions
ATS150
Ordering Information
ATS150 Series Mechanical-Bearing Screw-Driven Linear Stage
Travel (Required)
| Option | Description |
| -100 | 100 mm |
| -150 | 150 mm |
| -200 | 200 mm |
| -250 | 250 mm |
Vacuum Preparation (Required)
| Option | Description |
| -HV | High vacuum preparation to 10-6 Torr |
Direct Linear Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | High-accuracy incremental linear encoder; 1 Vpp |
- Linear encoder option only available on the 100 mm and 150 mm travels
Tabletop (Required)
| Option | Description |
| -TT1 | Tabletop with metric dimension mounting pattern and holes |
| -TT2 | Tabletop with English dimension mounting pattern and holes |
Ball Screw (Required)
| Option | Description |
| -BS1 | 2mm/rev precision-ground ball screw |
Motor (Optional)
| Option | Description |
| -M1 | BMS60 servomotor w/2500-line TTL encoder |
| -M2 | BMS60 servomotor w/2500-line TTL encoder and holding brake |
| -M3 | BMS60 servomotor w/1000-line 1 Vpp |
| -M4 | BMS60 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder and holding brake |
| -M5 | BM75 servomotor w/2500-line TTL encoder |
| -M6 | BM75 servomotor w/2500-line TTL encoder and holding brake |
| -M7 | BM75 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder |
| -M8 | BM75 servomotor w/1000-line 1 Vpp encoder and holding brake |
| -M9 | SM60 stepper motor, SM60-CN1-VT2 |
| -M10 | SM60 stepper motor w/holding brake, SM60-CN1-VT2-BK |
Foldback (Optional)
| Option | Description |
| -FB1 | Foldback kit for .250 inch diameter shaft NEMA 23 motor |
| -FB2 | Foldback kit w/brake for .250 inch diameter shaft NEMA 23 motor |
Motor Orientation (Optional)
| Option | Description |
| -2 | Bottom cable exit, optional orientation |
| -3 | Left-side cable exit, standard orientation |
| -4 | Top cable exit, optional orientation |
| -5 | Right-side cable exit, optional orientation |
| -8 | Right-side foldback, standard orientation |
| -12 | Left-side foldback, optional orientation |
Limits (Required)
| Option | Description |
| -Ll1 | Normally-closed limit switches; 9-pin D connector |
| -Ll2 | Normally-closed limit switches; flying leads |
| -Ll3 | Normally-open limit switches; 9-pin D connector |
| -Ll4 | Normally-open limit switches; flying leads |
Coupling (Optional)
| Option | Description |
| -CP1 | Coupling for 0.250 inch diameter shaft |
| -CP2 | Coupling for 0.375 inch diameter shaft |
Metrology (Optional)
| Option | Description |
| -PL1 | Metrology, uncalibrated with performance plots |
| -PL2 | Metrology, calibrated (HALAR) performance plots |
Metrology -HALSF (Optional)
| Option | Description |
| -PL5 | Metrology, horizontal/vertical straightness correction (HALSF) |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |
Accessories (to be ordered as a separate line item)
| Option | Description |
| ALIGN-NPA | Non-precision XY assembly |
| ALIGN-NPAZ | Non-precision XZ or YZ assembly |
| ALIGN-PA10 | XY assembly; 10 arc sec orthogonality. Alignment to within 7 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA10Z | XZ or YZ assembly with L-bracket; 10 arc second orthogonality. Alignment to within 10 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA5 | XY assembly; 5 arc sec orthogonality. Alignment to within 3 microns orthogonality for short travel stages. |
| ALIGN-PA5Z | XZ or YZ assembly with L-bracket; 5 arc second orthogonality. Alignment to within 5 microns orthogonality for short travel stages. |
| HDZ2 | English right angle L-bracket; for ATS150-100 and ATS150-150 only |
| HDZ2M | Metric right angle L-bracket; for ATS150-100 and ATS150-150 only |