ANT130L Einachsige lineare Nanopositionierungstische
Unsere ANT130L-Lineartische der zweiten Generation sind die führende Lösung für Ihre Bewegungs- und Positionierungsanforderungen im Nanometerbereich. Sie sind in einer Vielzahl von Konfigurationen erhältlich und zeichnen sich durch hervorragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit aus. Ihre beeindruckenden dynamischen Fähigkeiten und ihre große Belastbarkeit machen die ANT130L-Tische zu einer hervorragenden Wahl für Ihre hochpräzisen Industrie- oder Forschungsprozesse.
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Design-Merkmale
- Verbessertes Design der zweiten Generation
- Positionierleistung im Nanometerbereich bei Verfahrwegen von bis zu 210 mm - NEU
- Erzielt minimale inkrementelle Bewegung bis 0,5 nm - NEU
- Mit hochpräzisen Kreuzrollenlagern für hervorragende dynamische Leistung und hohe Belastbarkeit
- Maximiert den Prozessdurchsatz und die Zuverlässigkeit mit eisenlosem, direkt angetriebenem Linearmotor
- Lässt sich leicht in Mehrachs-Baugruppen und Bewegungs-Subsysteme integrieren
Hauptanwendungen
Die ANT130L-Tische sind ideal für hochpräzise und hochdynamische Positionierungsanwendungen, einschließlich:
- Montage und Inspektion in der Photonik
- Faserausrichtung und -optimierung
- Herstellung, Prüfung und Inspektion von Optiken
- Sensorprüfung und -qualifizierung
- Halbleiterverarbeitung und -inspektion
- Forschung & Laboranwendungen
Branchenführende Bewegungsleistung
Hervorragende Genauigkeit, Positionswiederholbarkeit und Positionsstabilität erfordern eine extrem feine Systemauflösung. Der ANT130L ist jetzt mit einer verbesserten Hochleistungs-Encoder-Option erhältlich und kann problemlos minimale Inkrementalschritte von 0,5 nm erreichen. Unsere Direktantriebstechnologie ist hysterese- und spielfrei und ermöglicht genaue und wiederholbare Bewegungen im Nanometerbereich.
Berührungsloser Direktantrieb
Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie bietet die robuste, genaue und schnelle Positionierung, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich ist. ANT130L-Tische nutzen unsere fortschrittliche Direktantriebstechnologie, um ein Höchstmaß an Positionierleistung zu erzielen. In Verbindung mit Anti-Kriech-Kreuzrollenlagern liefert der ANT130L eine extrem sanfte, gleichmäßige Bewegung mit hervorragenden dynamischen Eigenschaften, die Ihre Prozessfähigkeit verbessern. Die optimierte Antriebs- und Lagerkombination, die in einem kompakten Formfaktor untergebracht ist, bietet deutliche Leistungsvorteile in vielen Anwendungen, wie z. B. hochpräzise Positionierung, Faserausrichtung, Optikfertigung und -inspektion, Sensorprüfung und Scanprozesse, die eine gleichmäßige und präzise Bewegung erfordern.
Flexibles Systemdesign
Die ANT130L-Familie verfügt über universelle Montage- und Tischplattenmuster, die eine einfache Systemintegration ermöglichen. Zwei, drei oder mehr Achsen können für flexible Systemdesigns und Mehrachsenkonfigurationen einfach kombiniert werden. Die ANT130L-Tische sind auch in einer integrierten XY-Anordnung erhältlich und lassen sich leicht mit anderen Produkten kombinieren - einschließlich ANT130LZ, ANT130LZS, ANT130R, ANT130V, ANT20G und anderen - um komplexe Bewegungs- und Positionierungslösungen mit mehreren Freiheitsgraden zu ermöglichen.
Dimensions
ANT130L
ANT130L Mounting Plate
Ordering Information
ANT130L Single-Axis Linear Nanopositioning Stage
Travel (Required)
| Option | Description |
| -035 | 35 mm travel |
| -060 | 60 mm travel |
| -110 | 110 mm travel |
| -160 | 160 mm travel |
| -210 | 210 mm travel |
Feedback (Required)
| Option | Description |
| -E1 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output |
| -E2 | Incremental linear encoder, digital RS422 output, 5 nm electrical resolution |
| -E3 | Absolute + Incremental 1 Vpp linear dual-track encoder |
| -E4 | Incremental linear encoder, 1 Vpp amplified sine output, high-performance |
Connectors (Required)
| Option | Description |
| -CN1 | Single 25-pin D connector, 25DU |
| -CN2 | Two connectors, 4-pin HPD and 25-pin D, 4DU-25DU |
- The -CN1 option is limited to a maximum bus voltage of 80 V. The -CN2 option is required for higher bus voltages.
Mounting Plate (Optional)
| Option | Description |
| -MP | Mounting plate |
Performance Grade (Required)
| Option | Description |
| -PL1 | Base Performance |
| -PL2 | High-Accuracy Performance, PLUS |
Integration (Required)
Aerotech offers both standard and custom integration services to help you get your system fully operational as quickly as possible. The following standard integration options are available for this system. Please consult Aerotech if you are unsure what level of integration is required, or if you desire custom integration support with your system.
| Option | Description |
| -TAS | Integration - Test as system Testing, integration, and documentation of a group of components as a complete system that will be used together (ex: drive, controller, and stage). This includes parameter file generation, system tuning, and documentation of the system configuration. |
| -TAC | Integration - Test as components Testing and integration of individual items as discrete components that ship together. This is typically used for spare parts, replacement parts, or items that will not be used together. These components may or may not be part of a larger system. |